离子注入机“跑步”国产化

　　本报讯（融媒体中心记者 方针）穿上防尘服，戴上口罩、手套，通过风淋系统，记者8月6日上午获准进入电科装备旗下的烁科中科信公司离子注入机组装厂房，现场感受在模块、模组、整机三级制造全新模式下的集成电路装备产业化速度。烁科中科信公司技术总监张丛告诉记者，上半年，中束流离子注入机实现批量销售，大束流离子注入机实现多台销售并具备产业化条件，预计全年出货量有望实现翻番。

　　什么是离子注入机？烁科中科信快速产业化的密码又是什么呢？

　　离子注入机是将特定种类离子以指定参数注入至特定材料中的一种设备，执行的是核心的掺杂工艺。半导体要做成器件，要改变电性能，必须掺入杂质，离子注入机就是执行掺杂工艺的标准设备。“每一个器件生产过程中，需要进行很多次离子注入，注入到器件不同的位置，注入的次数对于不同器件类型和工艺节点有差异，例如对于28nm逻辑器件，注入次数约为40次。”张丛介绍。

　　“作为一种集成电路高端装备，它的生产组装过程自然是极为苛刻的，生产过程中精细、精准是基本要求。”一位正在进行模块性能测试的研发人员告诉记者。实际上，为保障生产过程的标准化，实现产业化转变，烁科中科信公司制定了所有模块模组标准作业指导书，建立了关键模块的过程控制卡，规范了设备布线布管及管线检查，给出了所有模块功能检测的标准和方法，统一了装配标准和检验标准，保证了机台装配的完整性及准确性。

　　研发团队还参照国际主流半导体设备厂家经验，建立模块、模组、整机三级制造模式，开发了主要模块和模组检测平台，搭建了完善的离子注入机工艺测试平台，实现三级制造模式下全程质量控制，整体生产运营效率大幅提升。

　　不仅追求产品质量，还跑出产业化“加速度”。烁科中科信重新修订了科研生产任务计划管理制度，科学制订每个项目的研发生产计划节点。通过倒排工作计划，专人跟进，实施日晨会、周调度、月总结，建立项目制的配料方案，及时更新物料状态，每天定时更新项目模块模组物料的到货状态，安排配料小组准时配料到物料缓存区，在节约人力的同时保证生产计划的高效实施，保证了研发设计、物料采购、生产进度和客户交期严格可控。

　　经过十余年发展，烁科中科信紧跟市场需求步伐，逐步形成了具备集成电路全产业链覆盖能力的产品布局。其中，中束流离子注入机已经在12英寸和8英寸产线量产或demo验证超过数十台套，其工艺稳定性获得业内客户高度认可。大束流离子注入机已实现多台销售，正在陆续进入客户端。高能离子注入机首批两台设备预计于2021年一季度进入客户端。公司负责人介绍说，为提升响应速度，公司还组建了50人售后服务队伍，分布在北京、上海、武汉、无锡、合肥、重庆、长沙和西安等城市，全面对接客户需求，提供高品质高效率的产品服务。

　　集成电路装备是国之重器，张丛说，烁科中科信将继续着力提高关键核心技术创新能力，在集成电路大产线、三代半导体产线以及材料制备领域集中发力，大力推进离子注入机产业化进程，同时，瞄准高端，紧跟先进工艺发展，开展适用于更先进工艺节点的离子注入机的研发工作。