离子注入机“跑步”国产化发布于: 科技2020-08-07标签: 离子注入集成电路张丛中科信 本报讯(融媒体中心记者 方针)穿上防尘服,戴上口罩、手套,通过风淋系统,记者8月6日上午获准进入电科装备旗下的烁科中科信公司离子注入机组装厂房,现场感受在模块、模组、整机三级制造全新模式下的集成