光刻设备供应商芯碁微装上市:市值81亿 年营收3.1亿发布于: 财经2021-04-05标签: 芯碁微装程卓合肥高新投SS康同投资雷帝网 雷建平 4月3日报道合肥芯碁微电子装备股份有限公司(证券代码:688630,简称:“芯碁微装”)日前科创板上市,发行3020万股,发行价为15.23元,募资4.6亿元。芯碁微