国产离子注入机登陆大产线发布于: 科技2020-06-19标签: 产线国产等关键技术离子注入 本报讯（融媒体中心记者 方针）6月18日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的设备如期交付，标志着公司国产离子注入
