黎明院新闻

集成电路是信息社会的根基，其制造技术代表着当今世界微细制造的最高水平。对极大规模集成电路行业而言，高纯度含氟电子气体是必需的清洗和蚀刻气体，在芯片制作过程中能够保障极大规模集成电路的生成，确保电