EUV新闻

荷兰ASML公司是全球唯一能生产EUV光刻机的公司，他们之前表态7nm以下工艺都需要EUV光刻机才行。现在中科院苏州纳米所的团队开发了一种新的激光光刻技术，不需要使用EUV技术就可以制备出5nm特征线

　　（本文首发腾讯科技，未经许可，请勿转载；全文共3200字，完全阅读需5分钟）　　划重点：　　以下为正文：　　5月5日，中国最大的晶圆代工厂中芯国际宣布回归A股，确定科创板上市，拟发行16.86亿股