年報解讀|中微公司刻蝕產品獲多筆重複訂單 MOCVD下游市場萎縮 外延佈局成新看點

《科創板日報》（上海，記者吳凡），3月30日晚間，國內半導體設備製造商中微公司（688012.SH）發佈2020年年報，報告期內，公司實現營收22.73億元，同比增長16.76%；實現歸母淨利潤4.92億元，同比上升161.02%；反映主營業務情況的扣非後歸母淨利潤為0.23億元，同比下滑84.19%。

對於歸母淨利潤同比大漲的原因，中微公司解釋稱，一方面是因為公司於2020年投資青島聚源芯星股權投資合夥企業（有限合夥）3億元而間接持有中芯國際科創板股票，因中芯國際股價變動導致公司產生公允價值變動收益約2.62億元；另一方面則是公司於報告期內獲得政府補助2.53億元，而2019年公司獲得政府補助為0.27億元。

此外，由於中微公司在2020年實施股權激勵計劃產生股份支付費用約1.24億元（屬於經常性損益），2019年無該類費用發生，這是導致公司扣非後歸母淨利潤同比大幅下降的主要原因。

那麼中微公司在報告期內的主營業務表現情況如何？

中微公司主要為集成電路、LED外延片、功率器件、MEMS等半導體產品的製造企業提供刻蝕設備、MOCVD設備及其他設備，其中刻蝕設備主要分為ICP（電感性等離子體刻蝕設備）和CCP（電容性等離子體刻蝕設備）。

年報顯示，中微公司CCP刻蝕設備產品中，PrimoAD-RIE®、PrimoSSCADRIE™、PrimoHD-RIE™等產品批量應用於國內外一線客户的集成電路加工製造生產線，並且在部分客户市場佔有率已進入前三位。

《科創板日報》記者注意到，在先進邏輯電路方面，中微公司取得5納米及以下邏輯電路產線的重複訂單。雖然公司未在年報中具體提及客户名稱，但公司2019年7月披露的招股書顯示，台積電為其刻蝕設備產品中的重要客户，而台積電5nm已在2020年量產，並且其3nm製程預計將於2021年試產，並將於2022年下半年量產。

在存儲電路方面，公司的CCP刻蝕設備在64層及128層3D NAND的生產線得到廣泛應用。值得注意的是，在目前的NAND市場，根據集邦諮詢的預測，2021Q2，NAND價格將同比上漲約3-8%，較2021年第一季度（NAND價格整體下跌5-10%）明顯提升，主要原因是PC、智能手機支撐NAND需求；2021Q2服務器市場旺季即將來臨；三星德州廠停工對NAND控制芯片供應產生負面影響。

巨大的市場需求之下，國內存儲廠商，同時也是中微公司的重要客户——長江存儲已規劃建設3座全球單座潔淨面積最大的3D NAND Flash產線，總投資規模達240億美元，到2023年總產能可達30萬片/月。

中微公司稱，得益於3D NAND芯片製造廠產能的迅速爬升，其CCP產品訂單產品的重複訂單穩步增長。另外公司的ICP刻蝕設備中的Primonanova®產品自2020年開始逐步取得客户的重複訂單。受益於2020年下半年國內存儲客户的擴產帶動，前述產品的銷售取得較大進展。

總體來看，2020年，中微公司的刻蝕設備刻蝕設備收入為12.89億元，同比增長約58.49%。

在研發方向上，中微公司稱，其正在進行下一代產品的技術研發，以滿足5納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產品的ICP刻蝕需求，並進行高產出的ICP刻蝕設備的研發。

其中在DRAM方面，由於記者在公開渠道未獲悉中微公司的刻蝕產品在DRAM領域的應用案例，同時國內DRAM廠商長鑫存儲也未出現在中微公司的招股書中，因此未來中微公司的刻蝕設備在DRAM領域的佈局，以及是否能夠打入正在擴產佈局的長鑫存儲供應鏈令人期待。

另外公司的MOCVD設備主要用於藍綠光及紫外LED外延片和功率器件的生產。報告期內，公司的MOCVD設備PrismoD-Blue、PrismoA7能分別實現單腔14片4英寸和單腔34片4英寸外延片加工能力。

2020年7月，中微公司宣佈推出應用於深紫外LED外延片生產的PrismoHiT3™MOCVD設備，該設備已在行業領先客户驗證成功。中微公司稱，由於市場原因，公司2020年MOCVD設備收入為4.96億元，同比下降約34.47%。

《科創板日報》記者瞭解到，受全球新冠疫情影響，2020年LED需求有所萎縮，出口同比減弱。此外受終端芯片價格下降及生產產能持續釋放等因素影響，2020年度LED設備市場仍呈現下滑態勢。

不過中微公司也在年報中指出，近兩年高端顯示類的LED外延片需求量增加明顯。基於MicroLED的高端顯示應用也開始小規模試生產，預計在未來幾年將會有更多的市場需求。而在MiniLED方面，東莞證券指出，受疫情影響，產業鏈企業MiniLED量產進度有所延後，但隨着全球疫情逐步得到控制，疊加終端大廠陸續推出搭載MiniLED顯示屏的電子產品，MiniLED有望於2021年快速放量。

目前中微公司的在研項目中，既有用於MiniLED大規模生產的高輸出量MOCVD設備的研發，還有用於MicroLED應用的新型MOCVD設備的研發。其中公司正在研發的可用於MiniLED生產的新型MOCVD設備產品，已在客户端取得實質性進展。

總體來看，2020年，中微公司半導體設備的毛利率為37.67%，同比增長2.74個百分點。

中微公司稱，公司考慮將刻蝕設備延伸到薄膜、檢測等其他關鍵設備領域，計劃擴展在泛半導體領域設備的應用，佈局顯示、MEMS、功率器件、太陽能領域的關鍵設備，擬探索更多集成電路及泛半導體設備生產線相關環保設備及醫療健康智能設備等領域的市場機會。

此外，截至目前，中微公司還通過外延式併購，相繼投資了山東天嶽、理想萬里暉、德龍激光等公司。中微公司表示，會重點考慮佈局等離子體刻蝕、薄膜沉積設備和測量設備等領域的設備公司，以及其他泛半導體領域設備公司。