ASML官宣全新半導體技術 增加吞吐量

PingWest品玩6月1日訊，據荷蘭半導體設備製造商艾斯摩爾（ASML）公司宣佈，他們已經在近日完成了第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的測試。

據悉，HMI eScan1000能夠同時產生、控制九道電子束用於檢測，與傳統的單電子束檢測機相比，吞吐量能提高600%。這台機器目前已經交由客户鑑定。