我國芯片製造核心裝備,高能離子注入機取得重大突破

    據悉,由中國電子科技集團旗下的電科裝備自主研製的高能離子注入機取得重大突破,成功實現了百萬電子伏特高能離子加速,性能達到世界先進水平。這意味着我國在芯片自主研製的道路上,又攻克一個堡壘。

    高能離子注入機在芯片製造過程中扮演什麼角色呢?芯片製造時,要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量並注入至特定半導體材料中,這個過程就是通過高能離子注入機來完成的。

    這是芯片製造不可或缺的一個環節。隨着芯片製造環節中各個設備研製的突破,我國的芯片製造產業鏈會加速形成的。

我國芯片製造核心裝備,高能離子注入機取得重大突破

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