光刻機為何如此複雜，原來它擁有這12個子系統發佈於: 科技2020-07-04標籤: 光刻機子系統阿斯系統由 今年6月，上海微電子光刻機設備製造商公佈，預計2021-2022年交付第一台28nm工藝的國產沉浸式光刻機。 此時，國產光刻機與荷蘭阿斯麥（ASML）的光刻機主要差距在哪裏？ 光刻機是多個系統
