日本對銷往韓國的三種半導體原料,實施出口管制將近一年以來,韓國終於成功開發出本土產品。SK Materials宣佈,已經開始量產蝕刻氣體,減少對日本關鍵原料的依賴。
韓聯社、Aju Business Daily 17日報道,SK集團旗下的SK Materials,去年在韓國榮州市興建年產量15噸的蝕刻氣體工廠,17日宣佈開始量產高純度蝕刻氣體──氟化氫,這是生產芯片的重要原料,可以洗掉製程時芯片片上堆積的異物。
SK Materials可能會供貨內存大廠SK海力士,不過SK Materials不願評論。2019年7月,日本加強對三項原料的出口管制,分別是氟聚酰亞胺、光阻劑、蝕刻氣體,都是生產半導體和可撓式面板的關鍵原料。不只如此,日本還把韓國踢出貿易優惠待遇國的名單之外。日韓交惡,韓國企業全力啓動相關原料本土化生產。
蝕刻氣體之外,SK Materials還打算興建氟化氬光阻劑工廠,預定2021年完工、2022年起每年產量達5萬加侖。另外,SKC準備要生產高端光罩基板,也是半導體的重要原料。