ASML設立首個EUV海外培訓中心:就近輔導台積電打磨先進工藝

據媒體報道,光刻機巨頭ASML(阿斯麥)日前宣佈,將在中國台灣的南部科學園區建立自己在海外(荷蘭之外)的首個培訓中心,旨在就近輔導台積電所領導EUV光刻製造集羣。

所謂EUV即極紫外光刻,目前全球有且只有ASML可以生產相關機器。光刻是半導體芯片製造中最費時間也是最費成本的環節之一,而且它決定了芯片的工藝水平,常説的XXnm工藝主要是看光刻機水平。

台積電的第一代7nm因為趕進度,沒有使用EUV,而是DUV(深紫外光刻),不過隨着7nm的改良以及5nm量產、3nm風險試產的進行,EUV開始更多導入。

ASML今年二季度的財報顯示,雖然僅僅出貨了9台光刻機,但淨利潤高達7.51億歐元。畢竟,一台EUV光刻機的售價就達到約合10億元人民幣左右。

另外,TrendForce數據顯示,今年第一季度,台積電營收102億美元,是第二名三星的幾乎4倍。

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