隨着中芯國際在美國百般阻撓的情況下成功購買光刻機，荷蘭ASML公司的大名也逐漸被網友所熟知。最近，這家光刻機界的唯一巨頭又發佈了一款新產品：第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，它適用於2020年即將量產的5nm和更先進工藝，能讓廠商的產能暴漲600%左右。
在業界，ASML壟斷了7nm及以下芯片製造的設備供應，全世界的芯片業巨頭、代工廠商都只能購買這家公司的設備，才能給全世界帶來最頂級的芯片產品。而伴隨着製程工藝的持續提升，晶圓製造的過程也愈發複雜，生產過程中的錯誤也變得越來也多，而ASML剛剛發佈的HMI eScan1000就是一套基於HMI多光束技術的高科技監測系統。
據瞭解，這套設備的內部擁有極其複雜的光電子系統，自身就能批量產生和控制電子束，然後根據反射回來得電子束成像來分析生產中得景園質量。另外，它還高速運行的平台和計算系統，可以精確地控制與處理測試晶圓的數量、電子束的數據。
總得來説，ASML剛剛發佈的這台HMI eScan1000就是一台頂級晶圓質量檢測系統。在芯片領域中，製造工藝越先進，對檢測系統的需求就越高，它的精度和吞吐量都會直接影響最終的生產效率。
值得一提的是，HMI eScan1000較以往取得了明顯的突破：它能同時產生和控制九道電子光束，可以直接提升產能達600%，大大減少了晶圓質量分析所耗費的時間成本。