國產28nm光刻機，具備中國自主產權及產業鏈，終於等到你

彼時，正值荷蘭ASML（阿斯麥）拒付中芯國際訂購的7nm光刻機之際，這對中國剛剛邁步的芯片行業不啻為一記重擊。沒有先進的光刻機，自然無法生產出各家公司定製的CPU、存儲器等剛需芯片產品。但除了向國外購買，我國具備自主知識產權、自主生產的光刻機，只有“古老的”90nm工藝水平，基本無法應對目前的市場、國家戰略需求。

中國完全自主知識產權的首台光刻機：GK-3光刻機（1978年）

沒錯，中國舉一國之力能量產的最頂級光刻機，就是上海微電子裝備集團旗下的SSA600系列產品：

上海微電子裝備集團現有的核心光刻機產品（分別對應90~280nm節點）

上海微電子，是匯聚中國三代電子科技領域精華人才的集大成者（其前身中電科45所，相當於中國微電子領域的黃埔軍校）。在SSA600/20系列90nm節點國產光刻機以一己之力“保家衞國”多年之後，上海微電子終於在2019年12月~2020年6月間，分階段、低調地對外透露——SSB800系列沉浸式光刻機（99%概率為28nm節點）的項目進展：

燃眉之急？90nm解不了，但28nm絕對可以大為改觀！

*上述資料取自公共網絡，僅供參考！

多年來，困守於90~280nm工藝的國產光刻機產品，基本難以勝任核心消費電子領域的手機、電腦類產品。然而，在涉及國計民生安全的重要領域（比如國防、國安、交通、基礎金融、農林、教育等），這些“年邁”的老將們，依然可以起到“穩字當先、杜絕外患”的重要作用。

疑似上海微電子SSB800（28nm節點）國產光刻機的外觀專利申報圖（圖源網絡）

28nm光刻機的國產化意味着什麼？從賬面數據來看，它可以生產GTX Titan X、GTX980Ti、R9 Fury X、Radeon Pro Duo這一級別的中高級（對，即便是對2020年來説）GPU顯示卡芯片，也可以生產接近E3-1230V2級別的高性能（別噴，E3V2黨決不是少數）處理器，手機CPU的話，也可以應對到驍龍801的水準。

28nm的TITAN X都能造，想卡住中國人的脖子，只會更難！

但是，不要忘記~ 芯片設計水平是不斷提升、完善和優化的，就像是使用同樣的工具，1年工齡的技術人員和5年經驗積累的熟練工，製成品肯定有所差距。現有的28nm製造工藝，可以被更加完善的利用在先進芯片的研發設計、量產上。

一代節點的光刻機，隨着設計、生產工藝的完善，其製成品的綜合性能、質量會顯著提升

大家所熟知的例子，就是台積電7nm DUV生產線在2019年中旬生產的鋭龍CPU，對比2019年末~2020年的同型號產品，功率顯著降低、超頻性能大幅提升，這在芯片研發製造領域是非常典型的實例。

因此，即便是面臨西方勢力對中國科技領域的圍追堵截、光刻機斷供、技術封鎖，我們的科研人員依然可以在高壓之下，竭盡所能地打破禁錮，一步一步實現追趕與逆襲。

28nm會是中國光刻機的中期休止符嗎？當然不會，11~14nm項目早已在路上~生死追擊，唯快制勝！加油吧，我們的光刻機(๑•̀ㅂ•́)و✧