彼時,正值荷蘭ASML(阿斯麥)拒付中芯國際訂購的7nm光刻機之際,這對中國剛剛邁步的芯片行業不啻為一記重擊。沒有先進的光刻機,自然無法生產出各家公司定製的CPU、存儲器等剛需芯片產品。但除了向國外購買,我國具備自主知識產權、自主生產的光刻機,只有“古老的”90nm工藝水平,基本無法應對目前的市場、國家戰略需求。
中國完全自主知識產權的首台光刻機:GK-3光刻機(1978年)
沒錯,中國舉一國之力能量產的最頂級光刻機,就是上海微電子裝備集團旗下的SSA600系列產品:
上海微電子裝備集團現有的核心光刻機產品(分別對應90~280nm節點)
上海微電子,是匯聚中國三代電子科技領域精華人才的集大成者(其前身中電科45所,相當於中國微電子領域的黃埔軍校)。在SSA600/20系列90nm節點國產光刻機以一己之力“保家衞國”多年之後,上海微電子終於在2019年12月~2020年6月間,分階段、低調地對外透露——SSB800系列沉浸式光刻機(99%概率為28nm節點)的項目進展:
燃眉之急?90nm解不了,但28nm絕對可以大為改觀!
*上述資料取自公共網絡,僅供參考!
多年來,困守於90~280nm工藝的國產光刻機產品,基本難以勝任核心消費電子領域的手機、電腦類產品。然而,在涉及國計民生安全的重要領域(比如國防、國安、交通、基礎金融、農林、教育等),這些“年邁”的老將們,依然可以起到“穩字當先、杜絕外患”的重要作用。
疑似上海微電子SSB800(28nm節點)國產光刻機的外觀專利申報圖(圖源網絡)
28nm光刻機的國產化意味着什麼?從賬面數據來看,它可以生產GTX Titan X、GTX980Ti、R9 Fury X、Radeon Pro Duo這一級別的中高級(對,即便是對2020年來説)GPU顯示卡芯片,也可以生產接近E3-1230V2級別的高性能(別噴,E3V2黨決不是少數)處理器,手機CPU的話,也可以應對到驍龍801的水準。
28nm的TITAN X都能造,想卡住中國人的脖子,只會更難!
但是,不要忘記~ 芯片設計水平是不斷提升、完善和優化的,就像是使用同樣的工具,1年工齡的技術人員和5年經驗積累的熟練工,製成品肯定有所差距。現有的28nm製造工藝,可以被更加完善的利用在先進芯片的研發設計、量產上。
一代節點的光刻機,隨着設計、生產工藝的完善,其製成品的綜合性能、質量會顯著提升
大家所熟知的例子,就是台積電7nm DUV生產線在2019年中旬生產的鋭龍CPU,對比2019年末~2020年的同型號產品,功率顯著降低、超頻性能大幅提升,這在芯片研發製造領域是非常典型的實例。
因此,即便是面臨西方勢力對中國科技領域的圍追堵截、光刻機斷供、技術封鎖,我們的科研人員依然可以在高壓之下,竭盡所能地打破禁錮,一步一步實現追趕與逆襲。
28nm會是中國光刻機的中期休止符嗎?當然不會,11~14nm項目早已在路上~生死追擊,唯快制勝!加油吧,我們的光刻機(๑•̀ㅂ•́)و✧