集微網消息7月16日，昊華科技發佈公告稱，擬以自有資金2億元設立全資子公司昊華氣體有限公司，從事電子化學品的研發、生產和銷售，做大做強電子氣體業務。
今天有投資者向昊華科技提問，問及公司是否給中芯國際供貨時，公司回答表示，公司給中芯國際供貨。公司電子特氣產品目前已進入中芯國際、長鑫存儲、華虹宏力、華潤上華、鎂光、德州儀器、吉林華微電子等十餘家半導體生產企業。
據此前長江商報報道，昊華科技另一子公司黎明化工研究設計院有限責任公司生產的“高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試”子項目通過了國家科技重大專項“極大規模集成電路製造裝備與成套工藝”的現場測試與評審。國家重大專項項目組專項辦公室責任專家馬振宇教授表示，這標誌着極大規模集成電路行業用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實現了國產化。據悉，目前相關產品已提交客户使用，市場應用效果良好。
長期以來，我國電子氣體產品主要依賴進口，而昊華科技是國內具備高純度三氟化氮研製能力的領先企業，亦是國內僅有的高純度六氟化硫研製企業。昊華科技在技術上不斷取得突破，多項產品打破國外壟斷，逐漸實現了進口替代。
昊華科技產品包括含氟電子氣、綠色四氧化二氮、高純硒化氫、高純硫化氫等，並廣泛應用於半導體集成電路、電力設備製造、LED、光纖光纜、太陽能光伏、醫療健康、環保監測等領域。