6月7日晚，中芯國際(00981-HK)對科創板首輪問詢做出了回覆，共涉及六大類問題，涵蓋發行人股權結構、業務、核心技術等事項，合計29個小問，中芯國際對此進行了共計201頁的回覆。
核心技術方面，公司稱，公司 65/55nm 及以下、0.13/0.11 微米、0.18/0.15 微米邏輯工藝技術平台，電源/模擬技術平台、高壓驅動技術平台等特色工藝平台，光掩模工藝誤差修正技術、中段凸塊技術等配套服務技術已達到國際領先水平。
值得注意的是，中芯國際於6月4日接受首輪問詢，這意味着，其僅用4天就交出了問詢答卷，這也創造了科創板審核問詢最快回復記錄。