國產化離子注入機實現全譜系產品格局發佈於: 科技2021-03-18標籤: 注入機離子離子注入機中國日報高速晶圓電子科技集團旗下電科裝備研製的國產化離子注入機中國日報3月17日電（記者 趙磊）記者從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下電科裝備已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片製造企業提供
