EUV新聞

荷蘭ASML公司是全球唯一能生產EUV光刻機的公司，他們之前表態7nm以下工藝都需要EUV光刻機才行。現在中科院蘇州納米所的團隊開發了一種新的激光光刻技術，不需要使用EUV技術就可以製備出5nm特徵線

　　（本文首發騰訊科技，未經許可，請勿轉載；全文共3200字，完全閲讀需5分鐘）　　劃重點：　　以下為正文：　　5月5日，中國最大的晶圓代工廠中芯國際宣佈迴歸A股，確定科創板上市，擬發行16.86億股