昊華科技子公司黎明院生產的高純含氟電子氣體國產化成功
昊華科技子公司黎明化工研究設計院有限責任公司生產的‘高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試’子項目通過了國家科技重大專項“極大規模集成電路製造裝備與成套工藝”的現場測試與評審。國家重大專項項目組專項辦公室責任專家馬振宇教授表示，這標誌着極大規模集成電路行業用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實現了國產化。據悉，目前相關產品已提交客户使用，市場應用效果良好。（財聯社）
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