中國電子：離子注入機實現全譜系產品國產化

IT之家 3 月 17 日消息 據新華社報道，中國電子科技集團有限公司 3 月 17 日對外公佈，該集團旗下裝備子集團攻克系列 “卡脖子”技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至 28nm，為我國芯片製造產業鏈補上重要一環，為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。

IT之家獲悉，離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還用於金屬材料表面改性和制膜等 。離子注入機廣泛用於摻雜工藝，可以滿足淺結、低温和精確控制等要求，已成為集成電路製造工藝中必不可少的關鍵裝備。