楠木軒

一年才生產幾十台,為什麼ASML的EUV光刻機產量那麼低?

由 段幹方 發佈於 科技

作為半導體芯片製造的關鍵一環,想要製造出先進的芯片,一台先進的光刻機是少不了的,而全球能夠生產光刻機的公司不少,但是來自荷蘭的ASML仍然是壟斷了頂尖光刻機技術領域,目前最先進的EUV光刻機也只有ASML能夠實現量產,但是即使如此,EUV光刻機再2019年的產量不過才幾十台。

ASML的EUV光刻機產能低,很大程度上是因為EUV光刻機代表着目前最先進的光刻技術,也是全球多項頂尖技術結合的精華,本身結構複雜,有5萬多個零部件,良品率低,而且需要非常長的製造時間,據瞭解,一台EUV光刻機的交付時間長達21個月,也就是説2020年訂購的EUV光刻機可能需要到2022年才能交貨,這個時間顯然是相當長了。

另外一方面,全球有實力使用EUV光刻機的芯片製造廠也就那麼幾家,比如台積電、三星和英特爾,這些還算是業界的巨頭企業,一台EUV光刻機的價格高達1.2億美元,再加上需要提前預定和超長的交付時間,所以一年區區幾十台的產量就非常正常了。

然而,ASML光刻機可不是全憑自身實力研發出來的,英特爾、三星和台積電都是ASML的股東,也都共同參與了EUV光刻機的研發,而這幾家企業都可以獲得ASML的光刻機優先供應權,而台積電2019年一買就是19台,這樣處於股東之外的企業自然就只能排隊等着了,這樣變相控制了ASML光刻機的產量。