在芯片的製造過程中,有三大關鍵工序,分別是光刻、刻蝕、沉積。這三大工序在生產的過程中,不斷的重複循環,最終制造成為芯片。
而在這三大關鍵工序中,要用到三種關鍵設備,分別是光刻機、刻蝕機、鍍膜設備。這三大設備佔所有制造設備投入的25%、15%、15%左右,是三種佔比最高的設備了,可見這三種設備是多麼的重要了。
目前在光刻機上,國內的技術是較為落後的,ASML已經實現了5nm工藝節點,而國內的水平還在90nm工藝節點上,差距至少是10年以上。
但在刻蝕機上,國內的技術卻是世界領先的,目前最牛的刻蝕機廠商已經在研發3nm的刻蝕機了,而5nm的刻蝕機已經被台積電用於華為麒麟1020芯片的生產了。
這家廠商就是中微半導體,2004年由海外歸國的尹志堯博士創辦。在創辦這家企業時,尹志堯博士已經是60歲了。而在創辦中微半導體之前,他曾在應用材料任職13年。
而應用材料是全球第一大半導體設備廠商,在刻蝕領域是全球最領先的廠商,而這也是尹志堯博士在應用材料負責的項目之一,所以回國創業時,也選擇了刻蝕設備,並表示過去是為別人作嫁衣裳,現在要報效祖國。
而在創辦公司後,中微半導體先後成功開發和銷售了適用於65/45/28/20/14/10/7納米工藝製程的一系列等離子體刻蝕設備,一直與當時的世界先進水平同步。
去年中微就交付了5nm的刻蝕機給台積電驗證,並於今年正式用於5nm芯片的生產,目前華為麒麟1020、蘋果A14已經在生產之中了,使用的就有中微半導體的刻蝕機了。