無塵室新聞

全球半導體微影技術廠商艾司摩爾（ASML），因為其所生產的微影設備已經在半導體先進製程中成為不可或缺的重要關鍵。尤其其中的極紫外光刻設備（EUV）更為芯片代工龍頭台積電與競爭對手三星在作業上的重點。