新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備試產成功發佈於: 科技2020-12-25標籤: 集成電路西安奕斯偉硅片技術有限公司西安理工大學集成電路級本文轉自【經濟日報】;本報訊 記者張毅報道:由西安理工大學和西安奕斯偉硅片技術有限公司共同研製的國內首台新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備日前在西安實現一次試產成功。據悉,大尺寸半導體硅單晶材料是制約