黎明院新聞

集成電路是信息社會的根基，其製造技術代表着當今世界微細製造的最高水平。對極大規模集成電路行業而言，高純度含氟電子氣體是必需的清洗和蝕刻氣體，在芯片製作過程中能夠保障極大規模集成電路的生成，確保電