離子注入機“跑步”國產化發佈於: 科技2020-08-07標籤: 離子注入集成電路張叢中科信 本報訊（融媒體中心記者 方針）穿上防塵服，戴上口罩、手套，通過風淋系統，記者8月6日上午獲准進入電科裝備旗下的爍科中科信公司離子注入機組裝廠房，現場感受在模塊、模組、整機三級製造全新模式下的集成
