【走進上市公司】第一期——至純科技 | 解碼2022年半導體行業走勢

2021年11月，【走進上市公司】專題活動第一期正式啟動。介面新聞攜手博眾投資高管及首席投資顧問，共同走進了——上海至純潔淨系統科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技“）。透過與至純科技多位高管的深度對談、多角度探討行業動態及最新趨勢，一方面宏觀而具體地展示了企業成熟的業務技術能力、企業戰略方向及在半導體產業的卓越影響力，另一方面以專業投顧角度對上市公司進行調研，解碼2022年半導體行業走勢，加深專業投資者對科技股乃至整個半導體行業的認知，作出更加科學、遠慮性的投資決策。

主持嘉賓：

介面新聞證券研究部總監 葛韻飛

對談嘉賓：

至純科技董事會秘書 柴心明

至純科技集團副總裁 葉穎

博眾投資副總經理 鄧剛

博眾投資金融研究所所長 劉剛

博眾投資首席投資顧問 吳志輝

葛韻飛 (主持人)：

歡迎各位走進上市公司，這次主要是由上海報業集團介面新聞以及博眾投資共同舉辦的這次活動。首先，特別感謝和歡迎各位領導，可以有這次機會走進上市公司。我們先請各位領導做下簡單的自我介紹。

柴心明：大家好，我是至純科技的董秘柴心明。

葉穎：大家好，我來自至純科技，我是集團副總葉穎。

鄧剛：大家好，我是博眾投資的副總經理鄧剛。

吳志輝：大家好，我是來自博眾投資的首席投資顧問吳志輝。

劉剛：大家好，我是博眾投資的大陽金融研究所的負責人劉剛。

葛韻飛（主持人）：

這次會議之前，柴總已經簡單介紹了一下至純科技的業務概況，現在能不能詳細介紹一下經營現狀和目前的發展情況。

柴心明：

至純科技是2000年成立的，創始人是我們的董事長蔣淵女士，她創業之初從高純工藝領域切入到醫藥和食品加工領域，為相應的藥廠以及可口可樂、光明乳業建立高純工藝的配送系統。

之後從2001年切入光伏板塊，2004-2005年進入平板顯示，2015年進入半導體。目前來說，主要服務物件像臺積電，三星，英特爾在國內的大廠，以及國內的龍頭中芯國際、華虹集團、長江儲存、合肥長鑫，這塊是近20年的主營，高純工藝這塊。

第二大主營是目前二級市場比較關注的溼法裝置。這個事業部是2017年上市之後佈局，2018年有了1億的定單，2019年接近2億的定單，2020年定單是5.3億。目前來說截至3季報，目前定單已經8億，一半以上是單片類的溼法裝置，所以這塊成長性特別強。

第三塊主營是光電子這塊，也就是我們併購的標的，波匯科技。其業績有季節性的波動的特點，因為其下游客戶是國家電網，包括中石油這樣大型的央企。目前來說根據央企確認回款的節奏都是4季度，甚至極端在12年份月大規模的回款，相應的季節性的波動也會對公司前三個季度的營收和利潤貢獻稍微有一些拖累。但是目前佔比在逐年下降，明年應該隨著系統包括裝置的大幅度增長，會逐步減輕季節性波動的影響，目前這3塊主營構成我們至純科技的3季度營收接近13億，扣非之後的利潤在8千萬。

葛韻飛（主持人）：

柴總介紹得很詳細，至純成立至今超過20年的時間，其實也可以算是見證了整個中國半導體從零到一的發展情況。據我瞭解，博眾投資也是一家成立時間相當久的投資企業，能不能請鄧總介紹一下博眾現在的經營情況。

鄧剛：

我們博眾也是成立於2000年，今年也正好7月12日度過了21週年的慶典，博眾作為老牌的證券投資機構，也是致力於為中國的證券市場的個人投資者提供更專業的投資者教育以及投顧策略陪伴。所以說現在我們也有90多位證券投資顧問，為投資者提供更專業的服務，同時也在開發我們大陽智投APP，就是利用現在大資料、AI演算法，賦能我們的投資者做更好的投資決策。

另外就是MCN機構的業務，現在粉絲經濟運營也是在風口，我們也在深耕這塊，現在全網粉絲加起來有1700多萬，這塊也是目前博眾主要的業務。

柴總，我們兩家公司都成立於2000年，作為行業裡面的老牌企業，我想了解一下至純在發展21年期間有沒有讓你印象深刻的重要變革和事件？

柴心明：

我們至純成立之初，因為當時沒有半導體，也沒有平板，也沒有光伏，但是蔣總之前有外資公司的背景，她當時服務過國內僅有的幾個半導體專案，上世紀90年代的908、909，摩托羅拉在天津的廠。這個過程當中她認識到高純服務的最高階的物件就是半導體，當時沒有相應應用場景的情況下，只能從醫藥、食品加工領域。但是和電子級純度來說，工藝難度來說相差比較多。目前來說光伏領域多晶矽純度6個9，單晶矽上升到9個9；平板領域上升到11個9的程度；半導體領域至少11個9，甚至13個9，15個9。所以至純有一句話“純是一個度，至純是一個境界”，這是趨近於無限的境界，一直可以往這個目標發展。但是這個過程中需要付出的努力是相當大的。

鄧剛：

博眾在去年20週年的時候提出“陪伴創造價值”這麼一個標語，我們至純作為一家上市公司，作為半導體行業的前沿企業，聚集了這麼多高階人才，我想了解至純是用什麼樣優秀的企業文化，把大家聚集在一起的？

葉穎：

這個是創始人創立公司之初就非常堅定考慮科技一定要和人文配合，科技本身是中立的，沒有人文的指導，科技是不會對社會的良性發展產生作用的。作為一個科技公司，蔣總一直覺得公司需要一定的人文和價值觀來引導，在我們至純我們非常簡單8個字：至純、至真、至簡、至善。我們希望透過成立一個非常簡單、非常真誠的組織，每個人每天做好自己的事，非常低調地、不誇張地在我們的行業裡面做好每天應該做的每件事，幫助每個人，幫助公司得到發展，也包括幫助整個行業、整個社會進一步發展。其實從至純創立20週年到現在沒有變過企業文化，我們也是一直比較堅持的人。

葛韻飛（主持人）：

其實各位已經對至純以及博眾兩家已成立超過20年的公司有了一個簡單的瞭解。那我們現在就對整個半導體產業來聊一聊。因為從2020年開始，整個半導體的行業無論是二級市場還是投資者的關心角度，都是一個非常炙手可熱的行業。至純所屬的清洗的業務，可能又是整個半導體行業當中相對來說目前國產替代化率正在前進過程中的一個行業。劉總也是對二級市場相對比較熟悉，您怎麼看半導體行業？

劉剛：

首先半導體行業國內發展起來其實挺不容易的，其實我們是從沙，土，林成長起來的，一開始是一窮二白，但是對於國內的投資者和企業來說都是巨大的機遇。投資會講要投一個很長的賽道，其實它要有足夠的成長空間，越是早期的時候，可能它的確定性會差一點，但是當有一批公司成長起來之後，它的確定性好了，它的競爭能力提升了，那它又會重新跨入快速的跑道當中，這個跑道又是一個有非常高的天花板的跑道，對於我們投資者來說這就是非常好的選擇。這個當中你的收益會隨著公司的成長髮生質變。當你越早發現這麼一家優質的公司，你獲得的時間複利就會越高。

我們也是很認同半導體這個行業，尤其是在中國的發展，當中就會涉及到半導體裝置，半導體行業本身處在國產替代的浪潮快速發展期，增速和未來空間比較可觀。我們又是在裝置國產化的浪潮當中，所以整個成長性非常好，我們覺得這樣的賽道對於投資者來說是比較正確的。但是賽道當中什麼樣的企業可以跑出來，這是我們作為一家可以帶領投資者做一些專業研究的機構，像我們大陽金融研究所，其實是想找到一個方法論，能夠評價一個好公司，

投資方法論的過程當中，我們提出一些方法，大家就會很好地對比一些尤其是高科技的企業，到底怎麼來判斷它未來是不是一個好的投資方向。我們想在這樣一個長賽道當中怎麼選擇這家好公司，一般會想這家公司有兩個方面的優勢，一個是效能方面的優勢，就是我們的產品；另外一個是成本方面的優勢，一般如果具有這兩方面優勢的公司會成長得很快，可以在長賽道當中享受更高速的發展。

這裡也請教一下柴總，針對其他競爭對手，我們的效能優勢在哪裡？我們的成本優勢在哪裡？當前階段可能下游企業更多關注的是效能，所以希望柴總可以展開講一講，我們目前國內成長起來的這些優秀的公司，我們怎麼脫穎而出，我們的優勢在哪裡？

柴心明：

以我們的溼法裝置為例，這塊雖然我們佈局相對來說晚了一點，但是成長性是特別快，就是因為這個過程當中我們始終以客戶的需求為指引，深度和客戶進行技術、商務上的溝通之後確定了做溼法高階的裝置。國外已經經歷過3次的技術轉移，第一次是上世紀70年代，美國往日本轉；第二次是上世紀90年代，日本往臺灣、韓國轉，三星、臺積電就是那個時候成立的；現在是第三次的產業轉型，這個過程中，國外已經在相當長的時間內把這個蛋糕做足了，我們在這個過程當中怎麼切這個一份，確實需要動腦筋的。這個過程當中，和客戶溝通的過程當中我們發現一個問題，因為國外的供應商作為技術的領先方和輸出方，他不會跟蹤國內客戶的需求。目前跟蹤臺積電、英特爾、三星，做7奈米、5奈米、3奈米的深度開發。14奈米在國內是最先進，28奈米也是國內偏先進的製程，對國外供應商已經分別落後3-4個時代了，是十年之前，十幾年之前，在國際供應商裡面溼法裝置都已經定型了。

這個過程當中，國內客戶要求他工藝升級，工藝改造他是沒有這個積極性，沒有這個動力，他的人財物都是鋪在7、5、3納米制程上的裝置，我們在這個過程中我們願意去跟動，特別和國內的龍頭客戶深度的繫結，他要提出什麼工藝的需求，工藝的改進、工藝的升級，我們幫他改，聯合研發，而且我們先確定一批機型是便於量產的，同時可以攤薄成本的，以便於我們擴大再生產，形成良性迴圈。這樣方便開啟局面，2018年是1億的定單，2019年是2億的定單，2020年是5.3億的定單，目前已經8億的定單，這個定單是每年翻倍的節奏。所以成長性也是相當明確的。

所以和客戶的深度跟動是帶來很好的定單增長和我們未來的業務發展，同時我們也具備技術研發的能力，目前28奈米已經全系列認證通過了，也包括溼法的刻蝕、溼法的去膠、溼法的清洗、溼法的刷洗，幾大溼法領域的工藝裝置我們都具備28奈米生產的能力，目前我們最新的動態是發了可轉債的預告，是往14奈米及14奈米以下的工藝裝置開發。同時還會帶來更多腔體，包括18腔的工藝裝置的研發。我們預計專案進行順利的話，明年就可以有部分的機型交付客戶進行認證。最晚2023年肯定可以14奈米和14奈米以下的機型交付認證。這樣基本上可以滿足下游客戶擴張的節奏。

劉剛：

我們當下幾大國內的主流的像溼法裝置的供應商，我們的競爭優勢，或者彼此之間的優缺點有哪些。

柴心明：

從目前來說，國內溼法雖然比其他的工藝裝置前進的速度要快一點，但是目前來說整體國產裝備的市佔率不足10%，還比較低，空間相當大，目前每年國內的溼法裝置的需求量在20-25億美金之間，替代空間還是相當大。從技術來講，我們是和國際的主流技術直接對標的。目前來說因為我們是用最先進的設計、工藝、材料，對標他十年之前已經定型的機型，所以指標上，甚至部分指標上還優於國際同類型的裝置。而且我們還有領先全球的腔體內的回收系統，這是國際供應商也不具備的，可以幫助下游客戶節省電子極的耗材，也就是說等他折舊完成之後還可以幫他賺錢，越用越省，所以我們的裝置價效比特別高。

劉剛：

剛才柴總也是講了一下我們公司的核心競爭力，其實我們投資者比較關心核心競爭力以及壁壘，這樣才可以有更長期的成長動能和確定性，我們可以再拉近一點的維度，我們看一下大概明後年，像我們公司對三大業務有怎樣的產能佈局或者規劃？還有我們會不會除了這三大主營業務之外，已經在佈局更有業績彈性的業務或者產品方向？

柴心明：

從下游客戶角度來說，因為大家也知道缺芯，缺芯短期內不可能緩解，因為從我司的角度，做一條線差不多需要1年半的時間，工程規模很大，做完之後下一步還要再聯合除錯，差不多3-6個月的時間。之後再進行客戶的匯入，然後從OPC、掩膜等相應的技術環節上根據它的工藝適配性進行客戶的匯入。在這個過程中，至少到明年年中如果能夠有部分的緩解，已經算進度相當快了，所以下游的缺芯，包括臺積電上週也有一位大咖講了，缺芯的情況已經不可能回到疫情之前的供需狀況了，是一個長期的過程，只是程度緩解的問題，目前來說，從下游擴張的角度來說，包括系統，包括裝置，包括晶圓再生，都是相當的緊缺。我們目前來說都是重資產的投入，從定增也好，從轉債也好，都是為了滿足融資、擴大再生產的需求。前面提到三個業務板塊，我們重點發展還是在溼法，因為從ROE的角度來說，溼法的ROE表現最好。因為系統在國內是屬於工程類的專案，系統這個團隊可以做20億的定單，但是我們並不希望他一下子做到20億的定單，因為你看到我們應收帳款，包括我們的存貨，包括現金流的拖累。它接了越大的定單，我的現金流越緊張，因為我都是需要墊資的，工程類就是有這個特點，客戶的預付比例相當低，只有20-30%。上市之前過億的定單都是不接的，就怕銀行抽貸，因為是跨期的工程，要做1年半到2年，過程當中銀行一抽貸，現金流就斷了，企業生存有問題了。上市之後才佈局過億的定單，慢慢做大。目前系統端，我們給它的指標並不太大，首先維護好大客戶，像臺積電、三星、海力士在國內的廠、然後國內的龍頭，之後爭取毛利率高的專案去做，同時希望可以儘早完成內生的迴圈，就是客戶這邊收到錢之後再鋪新的定單，而不需要集團額外的輸血，這是良性的內生迴圈。系統業務我們希望它每年是穩定的增長，我們在裝置端是高速的增長，因為它的ROE表現確實好，回款週期沒有系統這麼長，而且它的單價確實也高。我們目前普通的8腔的單片裝置，國際供應商在國內的報價就要350萬美金，12腔的普通工藝接近5百萬美金。如果是12腔的特色工藝的，根據工藝難度的不同，6百萬，7百萬，8百萬，如果研究出18腔都是千萬美金級。這個量帶來整個公司的營收、利潤都是質的飛躍。我估計明年裝備這塊就可以和系統的體量打平了。

在波匯這塊也是穩定的增長，因為下游客戶很確定，每年的定單也在持續增加，只是有一個季節性的特點在。2級市場適應之後就沒有問題，因為才並表2年不到，可能對季節性波動拖累我們，前3季度的業績會有一些不理解。其實隨著我們前兩塊業務的增長，它的體量也同比例的降低，明年應該說它的季節性波動不會給我們整體營收、利潤帶來太大的浮動。

劉剛：

除了三大業務，我們現在也在孵化哪些前景的方向？

柴心明：

隨著工藝越來越難，它的型號、包括衍生型號越來越多。比如說原來腔體數量少，一個機臺只能對應一個工藝；目前隨著腔體數量的增加，客戶提出來能不能對應多個工藝，就是一臺起到原來幾臺的作用，腔體數量多了，帶來硬體和軟體複雜了。我們好在設計之初就採用了模組化的設計，就相當於隨身碟一樣，即插即用。大致框架不變的情況下換一個腔體就帶來工藝的改變，但是實際上還是複雜的，軟硬體還是要同時調整的，說起來簡單，工程領域應用還是有一定的複雜性的。理論上，我們模組化的設計也是便於裝配和交付，理論上裝配時間兩個月，但是目前首批次需要6個月的時間。因為在我們做中高階的溼法裝置之前，國內只有應用的人才，會用、會看面板，如果有故障重啟是可以；但是從框架開始搭設，裡面的管路，機械臂也好，軌道也好，怎麼佈置，這個是沒有基礎的，所以目前來說，我們還是引進大量的國際人才，同時大批次的培養國內的梯隊，才可以不斷滿足下游擴張的節奏。目前我們也希望明年在2批次可以往4-5個月時間裡面壓縮，這樣我接單和交付節奏也可以同比例的提高。

葛韻飛（主持人）：

其實柴總之前也提到，整個二級市場對於半導體的專案跨期限的容忍度是越來越高的，所以二級市場對於整個半導體，無論是從上游到下游的估值也是慢慢往上走的。就我瞭解，吳總對於半導體二級市場投資也有所涉獵。請吳總分享一下對於最近幾年二級市場半導體投資的感想。

吳志輝：

對於半導體行業，從我們投資的維度來講，我們首先會考慮自上而下的分析方法論，（在做）投資選擇的時候肯定會先看賽道好不好，怎麼判斷賽道好不好呢？有以下幾個方面：

第一，是不是符合我們國家未來戰略的方向，這是非常重要的點；

第二，就是市場容量是不是足夠大。因為只有大的行業才可以催生出非常大的企業，可以從很小的企業變成非常大的企業；

第三，行業的增速，未來幾年行業的增速會有多大，因為增速會直接影響到二級市場，機構給公司、或者整個行業的估值定價。

半導體行業剛剛符合我們剛才說的所有條件，很明顯是國家支援的賽道。包括現在的國家大基金的成立，其實就是為了鼓勵我們中國像至純這樣的企業，可以讓其在半導體行業發揮更大的作用。

當然這麼大的賽道，我想問一下柴總，在半導體未來的戰略規劃和佈局會有哪些動作呢？能不能和我們詳細聊一下。

柴心明：

確實從2014年大基金成立之後，整個產業欣欣向榮的發展。如果從二級市場的角度，我們更注重天時地利人和，天時就是政策性的，國家投入；地利就是國產替代，由國內的供應商替代國外的供應商；人和就是人的能力，包括團隊能不能載負歷史交付的重任。從至純角度來說，我們完全具備天時地利人和的。但是投資角度來說，整個半導體領域因為本身就不是一蹴而就的，它是長週期的，它投資的量是幾萬億的，這個過程中投資人，我建議投資人更需要長期的耐心也好，並不需要太在意短期的波動。因為整個行業、整個賽道都是長週期的。國產替代勢不可當，這個過程當中1-2個月，一個季度有一些波動很正常，畢竟這個過程當中受到一些大環境、受到各種其他因素的影響也很正常，大的方向沒有發生改變投資人就應該堅定信心，就不應該去隨波逐流、追漲殺跌，除非對自己技術特別自信。

大基金2期對裝備類的，材料類的公司是投資的重點。這個過程當中其實也是給各位投資者指明瞭一個方向，在我們前一個月公告的大基金2期注資我們全資子公司——至微，同時進入的有上海的裝備材料，中芯聚源、遠致星火，還有芯鑫，這些都是代表了國家和地方的資本，以及客戶對我們的認可。對我們溼法的裝置現在技術的情況，包括將來發展前景的認可，因為他們在投入之前都做了大量的盡調。這個過程當中他們都願意做相應的陪伴，其實資本產融結合最好的就是陪伴，當然這個過程當中最終肯定會見到收穫。企業最希望就是和長期的投資人做相應的繫結，不需要經常去市場上籌錢，減少干擾，減少企業的精力消耗。

戰略投資人能夠幫我們產業中提升行業地位，於相關的客戶深度繫結，對我們的業務包括之後的定單發展都是有好處的。

葛韻飛（主持人）：

柴總前面提到大基金2期入股了至微科技，而且您前面也提到了很多國家大基金對於資本層面的一些想法和戰略佈局。那您能不能進一步分享一下，在業務層面，國家大基金入股我們子公司，對於我們業務發展有哪些協同效應？

柴心明：

其注資肯定有利於我們研發，對產業上的影響也是比較深遠的，特別有大基金給我們背書之後，我們其實也或多或少承擔了國家的任務，重點機型的研發，礙於一些敏感性不便於對外。大基金對我們之後的發展還是有相當深遠的意義的。首先不會像財務投資人做短期的動作，這個過程當中大基金對產業資源的整合，包括客戶相應的深入背景的相關合作，都會起到積極的作用。

葛韻飛（主持人）：

至純科技可以說是國內清洗裝置的第一線的企業，能不能能不能分享一下目前國家在半導體行業有哪些最新的舉措？

柴心明：

市裡面的層面比較多了，比如說我們拿到相應低息的貸款，有貸款補貼，之前有口行、開行牽頭，現在擴大到中農工建交，還有上海的市級的幾家銀行，還有其他產業裡的一些政策，比如說稅收的，比如說其他，疫情對於高階製造業也有相應的優惠政策，國家的重視程度確實是史無前例的。其實從最高層一直在往下貫徹，在產業中相應的怎麼擺脫瓶頸，怎麼加速替代國產。我們拿了國家相應的補貼也好，投入也好，儘可能把肩上的責任切實履行好，肩負起歷史交給我們的重任，希望我們這代人能儘早圓夢，而不是寄希望於下一代圓夢中國芯，我們這一代能實現就最好了。

葛韻飛（主持人）：

我們可以看出，成立超過20年的至純科技真實踐行了之前提到的至純、至真、至簡、至善的核心價值觀和理念，作為目前半導體行業的弄潮兒，至純科技也有大基金2期的加持，相信至純科技在未來也會越走越好，今天《走進上市公司》的活動到這裡暫告一段落，謝謝大家。

行業點評

博眾投資金融研究所所長 劉剛：

首先我們對半導體行業一個簡單點評：

第一、是關於行業增量和增速。十三五期間，我國半導體產業實現了跨越式發展，年複合增長率近20%。截至2020年，全行業銷售額已達8848億元。未來兩年國內晶圓製造廠整體的擴產增速能達到30%左右。從前十大晶圓製造企業的資料來看，內資製造企業總量在增長，但內資企業增速低於外資企業和臺資企業。所以，雖然我們的半導體產業正在蓬勃發展，但是還是面臨著重重壓力，要培養“系統-晶片-工藝-裝備-材料”協同創新發展的良性生態還是任重道遠。

第二、關於晶圓製造技術的突破。目前，14nm已經進入量產，7nm已經進入試產，5nm技術也在研發中。我國的晶圓製造技術節點正在有條不紊的向前推進。

第三、關於本土配套情況。一個是裝備配套，一個是耗材配套；當下我國的半導體配套產業正處於一個從點到面，快速發展的階段。國內製造產線建設進入快速增長期，迎來對裝備和耗材的巨大需求。2020年中國半導體裝置銷售收入達240億元，其中IC裝置銷售收入達到了107億元，同比增長了48.6%。預計2021年全年IC裝置同比增長50%以上。雖然增速喜人但裝備業規模仍然不夠，全球佔比很低，目前我們的耗材配套也體現出百家齊放的一個態勢。

整體來說，裝備、材料、軟體是半導體產業的核心基礎，也是國際博弈的長期焦點。供應鏈核心企業的戰略重心也將從試樣供應向規模化經營轉型，對企業的品質控制、供貨能力和服務保障等提出了更高的要求，企業要開始為銷售規模擴大10倍甚至50倍做好準備。

整個半導體行業的發展不是一蹴而就的，下游需求和創新週期的波動註定了它的發展是螺旋上升的，在這個過程中，投資者更需要有耐心，不要太在意短期的波動，而是要立足長遠的發展看待一些優秀的公司。

博眾投資首席投資顧問 吳志輝：

半導體行業是國家重點支援的一個行業，行業規模也是萬億級別的。因此半導體行業存在著巨大的投資機會。半導體行業產業鏈非常的長，也非常的複雜，包含了設計，各道工序，裝置，材料，封裝，應用段等。

其中率先受益的一定是，裝置端和材料端。因為這個兩個方向是產業鏈的最上游，生產晶片一定是需要裝置和材料的。至純科技就屬於裝置端。

近兩年，中國大陸晶圓廠建廠潮為半導體裝置行業提供了巨大的市場空間，但國產裝置在這些晶圓廠的採購中佔比仍較低，替代空間廣闊。據芯謀研究資料，2020 年，國內晶圓廠裝置採購總金額達到 154 億美元，其中向美國廠商採購金額達到 82 億美元，佔比達 53%，而向國內供應商採購金額僅為 9.9 億美元，佔比僅為 7%。而在先進製程上，裝置國產化率則更低，據半導體行業協會統計，目前，28 nm 以下的先進製程前段裝置有 70%來自美國廠商。

據半導體行業協會資料，當前溼法清洗裝置國產化率約達 20%，並已經攻克 14nm 製程。 前段工序三大件光刻、薄膜、刻蝕中，光刻機尚未實現國產化，塗膠顯影裝置、離子注 入裝置的國產化率亦不足 1%，基本不具備自給能力。而刻蝕機方面率先實現了國產突 破，國產化率近 20%，清洗、CMP 裝置亦走在了國產替代的前列，國產化率已達 15- 20%。

國內佈局了清洗裝置的廠商主要有至純科技、北方華創、盛美半導體、芯源微，單片式清洗機是國內廠商重點突破的方向，各家均推出了自己的單片式產品。至純能提供到 28奈米節點全部溼法工藝，主要單片清洗產品 S3XX 系列可搭載12個腔體，產能最高可達590WPH，18腔產品亦在研發中。

博眾投資副總經理 鄧剛：

半導體行業的行業增量和增速雖然面臨較大的壓力，但是行業動態仍然是在蓬勃發展。

具體到至純科技的裝置，其實最主要的關注點在於國產替代。目前像光刻、薄膜等工序尚未實現國產化，而清洗裝置國產化率是接近20%，這說明整個行業正處於一個國產裝置的快速替代時期，還有許多上下游工序替代空間廣闊。

而至純作為國內主要的清洗裝置供應商，未來均有望受益於國產化率的提升和國家支援發展的行業紅利。在這個過程中，我認為可能需要多一點點耐心。當然，未來的發展，這對企業的成本控制、上下游供貨能力等也將會提出更高的要求。

活動點評

博眾投資金融研究所所長 劉剛：

首先，科技股的投資與傳統行業股票的投資是有區別的，技術變革和供應鏈變化對公司股價影響非常大，科技股的投資需要長期的產業積累，也需要緊密的市場跟蹤，這一次我們對至純科技的調研，對於專業投資者來說，就是一次很好的活動。既加深了對產業和公司的認知，又映證了我們前期的一些預判。對半導體產業的現狀、公司的核心競爭力、遠期規劃和中期的能力釋放都有比較深入的瞭解。

雖然至純科技在溼法裝置領域佈局較晚，但是準確的把握到行業技術轉移中的機會，積極與國內客戶溝通，透過工藝的技術升級改造很好的匹配下游需求，所以訂單源源不斷，公司也飛速成長。這讓我們更清晰的從好賽道當中找到一些好公司，讓我們更放心的投資。

博眾投資首席投資顧問 吳志輝：

今天是隻是一個開始，未來我們博眾將會把走進上市公司繼續的做下來去。因為，我們博眾要做一個專業，有態度，有責任的投資諮詢公司。去上市公司調研，可以讓我們更好的瞭解相關公司，也可以讓我們的投資決策更加的客觀和科學，讓投資決策做到有的放矢。

博眾投資副總經理 鄧剛：

博眾開展走進上市公司的活動到目前來說應該算是成效不錯。我們在獲得客觀，有價值的調研內容後，再結合自身專業的研究團隊，將能夠給予使用者也就是我們的投資者更多專業的投資策略和投資意見，我覺得這是非常有意義的。

未來，我們也將會繼續開展下去，並且專注於投研，深挖市場需求，給予我們投資者更專業、更科學的投資陪伴。