中證網訊(記者 楊潔)國產半導體裝置龍頭中微公司8月28日晚披露2020年半年報，依託公司在刻蝕裝置、MOCVD裝置及其他裝置領域領先的技術優勢以及良好的客戶基礎，上半年中微公司半導體裝置銷售及備件收入均較上年同期增加，實現營收9.78億元，同比增長22.14%;實現淨利潤1.19億元，同比增長291.98%。公司經營性現金流大幅改善，由去年同期的-3.75億元轉正為2.87億元。
中微公司不斷加大研發力度，以滿足客戶晶片等產品製造需求。2020年上半年，公司研究開發支出共計2.07億元，佔營收比重達21.20%。截至6月30日，公司已申請 1538項專利，其中發明專利1350項;已獲授權專利1035 項，其中發明專利885項。
中微公司的研發成果也很突出。半年報顯示，在邏輯積體電路製造環節，公司開發的高階刻蝕裝置已運用在國際知名客戶先進的生產線上並用於7奈米、5奈米器件中若干關鍵步驟的加工;在3D NAND晶片製造環節，公司的電容性等離子體刻蝕裝置技術可應用於64層的量產，正在開發新一代涵蓋128層和更先進關鍵刻蝕應用的刻蝕裝置和工藝;公司的MOCVD 裝置Prismo D-Blue、Prismo A7能分別實現單腔14片4英寸和單腔34片4英寸外延片加工能力;Prismo A7 裝置技術實力突出，已在全球氮化鎵基LED MOCVD市場中佔據領先地位。
當晚，中微公司同時披露，向特定物件發行A股股票預案，募集資金總額不超100億元，用於中微產業化基地建設專案、中微臨港總部和研發中心專案、科技儲備資金。
中微公司表示，透過上述專案的實施，一方面有助於擴充公司產能，提高現有產品裝置市場佔有率，另一方面從硬體設施及資金儲備層面支援現有產品技術更新和新產品市場開拓，進而支援公司保持在半導體裝置領域的領先優勢與公司全週期產品線的佈局，提升公司科技創新水平。
(文章來源：中國證券報·中證網)