中微公司產品篇:突破5NM先進產能,MOCVD裝置全球第一

9月下旬,覽富財經網曾發文《中微公司:硬實力打破美方限制,或為華為提供晶片支援》,文中主要對科創板上市企業中微公司(688012)基本資訊、蝕刻裝置及百億募投專案作出簡要介紹。

日前,中微公司公告稱,其向特定物件發行A股股票申請獲得上交所的受理。就企業目前運營狀況而言,中微公司等離子體刻蝕裝置已經可以應用到5奈米生產線,並正在驗證5奈米以下加工能力。

值得注意的是,中微公司另一大業務MOCVD裝置在2018年下半年,已經佔據了全球新增氮化鎵基LED MOCVD裝置市場的60%以上,細分領域市場佔率全球第一。

著重強調一下,MOCVD裝置作為LED製造中最重要的裝置,其採購金額一般佔LED生產線總投入一半以上,綜合行業整體而言,中微公司業績增量確定性較強。由於前文已經對中微公司基礎資訊有所介紹,本文不再贅述,將著重對公司半導體裝置進行詳細介紹。

中微公司產品篇:突破5NM先進產能,MOCVD裝置全球第一
半導體裝置“國貨之光”

自從中微公司研發出了與美國領先裝置公司同等質量的刻蝕裝置並實現量產,一舉打破美方的等離子體刻蝕裝置多年的出口管制之後,公司產品如今已經成功覆蓋了65nm、45nm、32nm、28nm、22nm、14nm、7nm和5nm微觀器件刻蝕應用的三代刻蝕裝置,並已經成功實現單反應臺Primo nanova刻蝕裝置的量產,同時在研究雙反應臺電感性等離子體刻蝕裝置。

中微公司產品篇:突破5NM先進產能,MOCVD裝置全球第一
現階段,中微公司客戶包括國內外主流的晶圓廠和LED製造廠商,隨著公司產品效能的持續升級,客戶認可度和豐富度不斷提升。其生產的刻蝕裝置的主要客戶包括全球晶圓代工龍頭臺積電、大陸晶圓代工龍頭中芯國際、聯華電子、海力士、長江儲存等,MOCVD 裝置的客戶涵蓋了我國主要的光電器件生產廠商,如三安光電、華燦光電、璨揚光電等。

在2019年VLSI Rearsch“客戶滿意度”調查中公司在全球晶圓製造裝置供應商中排名第三,連續兩年上榜,並被評為全球客戶滿意度達到五星級的五家公司之一。早在2018年,中微公司的Prismo A7裝置就已在全球氮化鎵基LED MOCVD市場處於領先地位,全球市佔率超過60%,成功超過傳統龍頭維易科和愛思強。

刻蝕裝置市場對標光刻裝置市場

目前,公司研發的5nm刻蝕機已經透過臺積電的驗證,在2020年將投入臺積電5nm製程生產線,著重強調一下,從行業層面來看,現階段晶圓製造向7nm、5nm以及更先進的方向發展。各大晶圓代工廠紛紛加大資本性支出,刻蝕裝置作為半導體制造三大核心裝置之一,也有望受益於晶圓廠的擴產浪潮。

因為由於普遍使用的浸沒式光刻機受到波長的限制,10nm及以下的邏輯器件微觀結構的加工將透過等離子體刻蝕和薄膜沉積的多重模板效應來實現,使得相關裝置的加工步數增多,直接刺激蝕刻裝置銷量提升,中微公司也獲獎因此受益。

根據SEMI 2018年相關統計資料,刻蝕裝置在半導體裝置市場中份額達到19%,與光刻機、薄膜沉積裝置分列前三位,合計份額超過50%。排名第二位的光刻機/光刻膠裝置佔比約為18%。

即便在2019年半導體裝置市場下滑的情形下,刻蝕裝置依舊保持著增長的態勢,因此隨著半導體行情的轉暖,刻蝕裝置市場有望持續擴大增長態勢。

中微公司產品篇:突破5NM先進產能,MOCVD裝置全球第一
MOCVD裝置市佔率全球第一

中微公司蝕刻裝置突破封鎖的同時,另一個主要業務MOCVD裝置業務迎來爆發。根據中微公司招股說明書可知,2018年下半年,中微公司的“Prismo A7”MOCVD裝置佔據了全球新增氮化鎵基LED MOCVD裝置市場的60%以上,在這一細分領域是當之無愧的全球第一。

現階段,公司自主研發的MOCVD裝置已被三安光電、華燦光電、乾照光電、璨揚光電等多家與公司緊密合作的一流LED外延片及晶片製造廠商大批次採購。

中微公司從2010年開始著手MOCVD裝置的研發,於2013年成功推出第一代產品Prismo D-Blue,該產品配備四個19英寸的反應腔,能夠同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片。

中微公司推出的第二代MOCVD裝置“Prismo A7”技術含量和製造工藝水平大幅提升,單腔產量相比第一代產品翻了一番,一經推出使得公司MOCVD裝置銷量由2016年的3腔飆升至57腔。

今年,中微公司已經推出用於深紫外LED製備的Prismo HiT3TM裝置,該裝置是適用於高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵裝置。

中微公司產品篇:突破5NM先進產能,MOCVD裝置全球第一
MOCVD裝置市場廣闊,營收增速迅猛

從營收層面來看,中微公司MOCVD裝置2017年銷售收入達到5.3億元,相較於 2016年漲超30倍,2018年由於全球市佔率提升,銷售收入繼續增長,達到8.32 億元。

中微公司產品篇:突破5NM先進產能,MOCVD裝置全球第一
根據IHS Market統計,2018年中微徹底打破了維易科和愛思強在MOCVD裝置的壟斷地位,佔全球新增氮化鎵基LED MOCVD市場份額高達41%,下半年全球佔比更是超過60%,佔有量全球第一。

從財務資料來看,曾經的龍頭維易科2019年年報披露其營業利潤虧損5698.30萬美元,根據2019年12月31日匯率計算,大約虧損人民幣3.97億元,中微公司則盈利1.89億元,同比大增107.51%。

近年來,國內LED產業的快速發展帶動了作為產業核心裝置的MOCVD裝置需求量的快速增長。尤其是2019年新興的Mini LED和Micro LED是激發MOCVD裝置增長的關鍵因素,根據Market.us預測到2028年,MOCVD市場規模將翻一番,達到16.38億美元,年均複合增長率約為8.5%。

依據中微公司招股說明書可知,我國2017年已經成為全球MOCVD裝置最大的需求市場,MOCVD裝置的保有量佔全球比例超過40%。2009年至今,我國MOCVD裝置保有量增長了高達14倍,已達約2000臺。

綜上所述,中微公司是我國目前技術實力、研發體系最為強勁的半導體裝置企業之一。伴隨晶圓代工廠擴產帶動蝕刻裝置增長,及LED MOCVD裝置持續放量,中微公司營收及利潤有望持續增長。下一篇,覽富財經網將重點關注中微公司財務報表,瞭解其業績爆發的深層原因。

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