2022-04-11光大證券股份有限公司劉凱對中微公司進行研究併發布了研究報告《系列跟蹤報告之三：公司2021年扣非淨利潤大幅增長，ICP刻蝕機和薄膜沉積裝置進展迅速》，本報告對中微公司給出買入評級，當前股價為112.29元。
中微公司(688012)
事件：
2022年3月31日，公司釋出2021年年度報告：公司2021年營業收入為31.08億元，同比增長36.72%；實現歸母淨利潤10.11億元，同比增長105.49%；實現扣非歸母淨利潤3.24億元，同比增長1291.10%；毛利率為43.36%，同比增長5.69pcts；淨利率為32.54%，同比增長10.88pcts。
公司2021Q4營業收入為10.35億元，單季環比增長41.03%，單季同比增長29.91%；實現歸母淨利潤4.7億元，單季環比增長223.34%，單季同比增長118.14%；實現扣非歸母淨利潤1.59億元，單季環比增長54.36%，單季同比增長131.82%；毛利率為44.71%，單季環比增長1.40pcts，單季同比增長1.69pcts；淨利率為45.36%，單季環比增長25.59pcts，單季同比增長18.34pcts。
點評：
受益於半導體裝置市場發展以及產品的競爭優勢，公司2021年扣非淨利潤和新增訂單大幅增長。
公司2021年營業收入為31.08億元，同比增長36.72%，增長迅速；歸母淨利潤10.11億元，同比增長105.49%；扣非淨利潤為3.24億元，同比增長1291.1%，實現大幅增長。
其中非經常性損益為6.87億元，來源於（1）因中芯國際股價變動以及公司減持部分中芯國際股票，公司2021年收益約0.39億元，較2020年收益的2.62億元減少約2.23億；公司投資的其他非上市公司股權（以公允價值計量且其變動計入當期損益）於2021年產生公允價值變動收益約3.70億元，較2020年增加約3.70億元。因上述兩項因素合計影響，公司2021年較2020年增加稅前利潤約1.47億元；（2）公司2021年計入非經常性損益的政府補助較2020年增加約0.95億元。
分業務看，2021年刻蝕裝置收入同比增長近56%：受益於半導體裝置市場發展及產品競爭優勢，公司2021年刻蝕裝置收入為20.04億元，較2020年增長約55.44%，毛利率達到44.32%；由於下游市場原因以及本年新簽署的Mini-LEDMOCVD裝置規模訂單尚未確認收入，2021年MOCVD裝置收入為5.03億元，較2020年增長約1.53%，但MOCVD裝置的毛利率達到33.77%，較2020年的18.65%有大幅度提升。
公司訂單情況良好，2021年新增訂單41.3億元，同比增長90.5%，合同負債為13.72億元，同比增長53.7%：公司2021年新簽訂單金額為41.3億元，較2020年增加約19.6億元，同比增加約90.5%，增長速度較快；公司2021年合同負債為13.72億元，同比增長53.7%；公司2021年存貨為17.62億元，同比增長6.3%。
刻蝕裝置：CCP刻蝕機市佔率不斷提升，ICP刻蝕機進入放量期，ALE裝置正在籌劃開發中。
CCP刻蝕機：公司CCP刻蝕裝置產品保持競爭優勢，PrimoAD-RIE、PrimoSSCADRI、PrimoHD-RIE等產品批次應用於國內外一線客戶的積體電路加工製造生產線，並持續提升市場佔有率，在部分客戶市場佔有率已進入前三位。公司2021年共生產付運CCP刻蝕裝置298腔，產量同比增長40%。此外，在先進邏輯電路方面，公司成功取得5奈米及以下邏輯電路產線的重複訂單。在儲存電路方面，公司的刻蝕裝置在64層及128層3DNAND的生產線得到廣泛應用。隨著3DNAND晶片製造廠產能的迅速爬升，該等產品的重複訂單穩步增長。同時，公司積極佈局動態儲存器的應用，並開始工藝開發及驗證。公司積極與主流客戶合作，定義下一代CCP刻蝕機的主要功能及技術指標，正開發更先進的CCP刻蝕機產品。
ICP刻蝕機：公司ICP刻蝕裝置已經逐步趨於成熟。PrimonanovaICP刻蝕產品已經在超過15家客戶的生產線上進行100多個ICP刻蝕工藝的驗證，部分工藝的刻蝕效能和量產指標已經滿足客戶的要求並投入量產，且持續擴充套件到更多刻蝕應用的驗證。截止到2021年12月底，PrimoNanova已經順利交付超過180臺反應腔，且在客戶端完成驗證的應用數量也在持續增加。公司2021年共生產付運ICP刻蝕裝置134腔，產量同比增長235%。
此外，公司ALE（原子層刻蝕）先進關鍵裝置正在籌劃開發中。
MOCVD裝置：Mini-LED用MOCVD裝置已收到批次訂單，第三代半導體及
Micro-LED用MOCVD裝置穩步推進。公司藍光照明PrismoA7以及深紫外LED外延片PrismoHiT3產品持續服務客戶。公司在2021年6月正式釋出了用於高效能Mini-LED量產的MOCVD裝置PrismoUniMax，半年內即已收到來自國內多家領先客戶的批次訂單合計超過100腔，並且不斷收到更多的訂單。公司還積極佈局用於功率器件應用的第三代半導體裝置，啟動了應用於製造功率器件、Micro-LED等生產的MOCVD裝置的開發，其中開發GaN功率器件量產應用的MOCVD裝置目前已交付國內外領先客戶進行生產驗證，此外，公司啟動了應用於碳化矽功率器件外延生產裝置的開發，將進一步豐富公司的產品線，進一步穩固、提升公司在MOCVD產品上的領先市場地位。
薄膜沉積裝置：鎢填充CVD獲得階段性成果，CVD、ALD和EPI裝置開發進展良好。公司的鎢填充CVD裝置獲得了階段性進展，已能夠滿足客戶工藝驗證的需求，產品正與關鍵客戶對接驗證。基於金屬鎢CVD裝置，公司正進一步開發CVD和ALD裝置，實現更高深寬比和更小的關鍵尺寸結構的填充，以滿足高階邏輯器件和先進儲存晶片的需求。目前公司EPI裝置已進入樣機的設計，製造和除錯階段，以滿足客戶先進製程中鍺矽外延生長工藝的電性和可靠性需求。
其他裝置業務佈局：VOC淨化裝置積極推進中，增資睿勵儀器佈局前道檢測業務，擴充套件在顯示、MEMS、功率器件、太陽能等泛半導體領域的關鍵裝置。在聚焦主業的同時，公司在外延發展方面繼續積極探索。子公司中微惠創利用分子篩的吸附原理的化學反應器，開發製造了工業用大型VOC淨化裝置，與德國DAS環境專家有限公司簽訂戰略合作協議，雙方將在半導體行業尾氣處理裝置領域展開緊密的合作。公司於2021Q1完成了對睿勵儀器1億元的增資事項，累計持有睿勵儀器20.45%的股份，並委派尹志堯出任睿勵儀器的董事長，2022年3月擬增資1.08億元，交易完成後持股比例將提升至29.36%，佈局積體電路工藝檢測裝置領域，有利於拓展公司業務範圍。公司計劃擴充套件在泛半導體領域裝置的應用，佈局顯示、MEMS、功率器件、太陽能領域的關鍵裝置；公司擬探索其他新興領域的機會，利用獨特的裝置及工藝技術，考慮從裝置製造向器件大規模生產的機會，以及探索更多積體電路及泛半導體裝置生產線相關環保裝置及醫療健康智慧裝置等領域的市場機會。
盈利預測、估值與評級：中微公司是國內刻蝕裝置和MOCVD裝置的領軍企業，我們持續看好公司雄厚的內生技術實力以及外延擴充套件能力，考慮到ICP刻蝕機和薄膜沉積裝置進展迅速，上調公司2022-2023年的歸母淨利潤為10.73億元（上調40.63%）、12.72億元（上調20.11%），預計2024年的歸母淨利潤為15.40億元，當前市值對應的PE值分別為67x、56x、46x，維持“買入”評級。
風險提示：晶圓廠擴張不及預期，客戶匯入不及預期，技術研發不及預期。
證券之星資料中心根據近三年釋出的研報資料計算，長江證券趙智勇研究員團隊對該股研究較為深入，近三年預測準確度均值為66.96%，其預測2022年度歸屬淨利潤為盈利6.48億，根據現價換算的預測PE為92.89。
最新盈利預測明細如下：
該股最近90天內共有23家機構給出評級，買入評級16家，增持評級7家；過去90天內機構目標均價為155.73。證券之星估值分析工具顯示，中微公司（688012）好公司評級為3.5星，好價格評級為1.5星，估值綜合評級為2.5星。(評級範圍：1 ~ 5星，最高5星)
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