霍俊標:妙手回春的半導體工藝“裝置神醫”

人物簡介:霍俊標,1980年生,河南省汝州市人,深圳華遠微電科技有限公司製造部副經理。自動化控制工程師,擅長半導體工藝裝置的維修與改進,能夠快速解決Panasonic幹刻裝置、Canon光刻裝置、勻膠顯影裝置等半導體等裝置故障。獲得國家專利3項,在2項深圳市科技專案中負責裝置及工藝支援。攻克修復了被收購外企銷燬的外國裝置,機器得以正常執行,為企業發展作出了重要貢獻。

霍俊標:妙手回春的半導體工藝“裝置神醫”

華遠微電是華南地區集研發、製造、銷售聲表面波射頻晶片和無線無源溫度感測器為一體的國家高新技術企業,這樣的企業,在華南地區也沒有幾家。數量少,是因為技術門檻高。國內外射頻聲表面波濾波器的生產廠家主要集中在幾家國際跨國公司,他們佔據了95%的市場份額。

在夾縫中,華遠微電製造部副經理霍俊標帶領團隊殺出,研發的聲表面波濾波器(英文簡稱SAW濾波器),可替代一定量的進口產品,填補了國內空白,實現了“關鍵零部件國產化”,使國內終端裝置廠商如華為、中興、海能達在聲表射頻器件上有了更多選擇,推動了通訊行業的健康發展。

修好閒置7年的裝置,給公司省了三百多萬

半導體晶片工藝的核心裝置,目前只能依賴進口。就連維護維修,以前都離不開供貨方,處處受制於人。

“大多數人只懂裝置,或只懂測試,知識面不夠廣,有些偏科,所以不知道如何維修改進。”在霍俊標看來,半導體生產的工藝和裝置緊密相連,霍俊標既懂裝置,也懂工藝,又懂測試,自然是維修裝置的一把“好手”。

霍俊標擅長半導體工藝裝置的維修與改進,如磁控濺射裝置維修及改進(改進能力處於國內領先水平)、幹/溼法刻蝕裝置的維修及改進(溼法獲得實用新型專利)、光刻裝置維修(能夠達到售後服務級別)等。此項技能每年大約為公司節約了200萬元費用。

霍俊標:妙手回春的半導體工藝“裝置神醫”

在同事們眼裡,霍俊標就是一個妙手回春的大夫。他們不敢相信,霍俊標能把一臺閒置多年,連出售機器的日本工程技術人員都認為沒法修理的舊裝置修好,並且一直使用至今。

當時是2014年,霍俊標得知廠裡有一臺閒置多年的磁控濺射裝置,長久不能使用。出現故障時,廠裡曾聯絡日方工程技術人員和在上海的經銷商,找人進行維修。對方在聽到介紹後,表示實在無法修理。

“舊裝置如果就此放棄,蠻可惜的。”霍俊標決定對這臺裝置進行徹底的檢查和維修,想辦法將其救活。他把這一想法告訴了領導,表示如果修理不好,自己願意掏腰包,支付購買零部件替換的費用。

在沒有任何圖紙資料,國內也沒有相關改造案例的情況下,霍俊標經過一個月左右的摸索和修理,終於把這臺已沉睡了七年的裝置徹底修好。這次修理的成功,使廠裡省了三百多萬。

在維修裝置的同時,霍俊標還以極大的熱情投身到發明創造中。他先後獲得了“用於測試聲表面波諧振器的測試系統及其測試方法”的發明專利,以及“一種旋轉噴淋溼法蝕刻裝置”“一種防雷擊的影片監控系統”等多項實用新型專利。

在聲表測試系統的設計與程式設計方面,霍俊標熟悉聲表諧振器及濾波器的測試方法,熟練掌握了網路分析儀的使用及程式設計方法,能夠使設計測試系統與測試裝置相匹配。

多年來,霍俊標還和他的團隊,完成了公司裡多項裝置製作與改造升級工作。如,顯影裝置控制系統的改造、溼法刻蝕裝置控制系統的設計與製作、RF磁控濺射裝置控制系統的設計與製作、聲表濾波器測試裝置的設計及製作等。

2016年和2017年,霍俊標相繼參與了2項深圳市科技專案,分別為重20160130北斗衛星導航系統聲表面波濾波器射頻晶片研發,負責裝置及工藝支援。重20170213基於4G/5G的溫度補償聲表面波濾波器晶片關鍵技術研發,負責裝置及工藝支援。

既充當“半導體工藝裝置維修與改進”的維修工,又是“聲表測試系統設計與程式設計”的程式設計師,霍俊標研發的研發的聲表面波濾波器,實現了國產替代,打破國外技術壟斷,推動了通訊行業的健康發展。

“裝置到我手裡,就得聽我的話”

2012年,霍俊標來到華遠微電。同事們驚訝,才幾天時間,霍俊標就對公司的一切很熟悉。原來,早在2004年時,霍俊標入職了位於寶安沙井的日資企業三洋電子部品廠,隨後2010年離職。

而三洋電子部品廠在中國的生產基地,就是華遠微電的前身。2009年三洋電子撤出中國時,沒留下任何技術員和說明書,將所有技術人員、說明書全部帶走或銷燬。

“我在三洋很多年,對裝置及測試都有一定的瞭解。”於是,霍俊標帶領團隊探索研究,把所有控制系統改裝成自己可控制的,並開發了一套測試系統,隨時監測各項效能,保證安全生產。

霍俊標最怕的,不是裝置壞了,裝置壞了自己反而會興奮:“我會想著法子搞好它,裝置到我手裡,它就得聽我的話。如果天天想著躲問題,不可能有進步,有問題要迎難而上。”

維修裝置時,不管問題大小,霍俊標都喜歡找出原因。比如一條線路燒壞了,要檢查出為何燒壞。如果是短路造成的,又為何短路,裝置如何改進才可以避免此類問題。正是對細枝末節的追求,讓霍俊標對裝置維修越鑽越精。

多年來,霍俊標對技術並不保密,甚至毫無保留地將技術傳授給其他同事,專門帶了兩個徒弟,“有人問我一個問題,我會回答兩個,很希望大家能問我問題。”

當前,華遠微電正進行新一代裝置技術升級改造,計劃進一步擴大產能任務,完成“5G”行動通訊配套射頻聲表器件研發攻關。為了學習國外本領域最新的科學技術知識,霍俊標一直沒有放棄過英語知識的學習,時刻見縫插針地學習英語,以便能直接閱讀更多最新的專業技術書籍,為我國的半導體事業發展貢獻智慧。

致敬詞:他是維修工,負責“半導體工藝裝置維修與改進”。他是程式設計師,進行“聲表測試系統設計與程式設計”。他也是研發者,聲表面波器件打破了國外技術壟斷,實現“關鍵零部件國產化”。

【記者】 蘇國銳

【作者】 蘇國銳

【來源】 南方報業傳媒集團南方 客戶端

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