臺媒:半導體裝置廠翔名打入臺積電EUV供應鏈

據臺灣媒體報道，中國臺灣半導體裝置廠翔名打入了臺積電EUV(極紫外光刻)供應鏈。

翔名切入臺積電5nm極紫外光(EUV)光罩盒表面處理業務，與EUV光罩盒大廠接洽合作機會，以獨家專利無電鍍鎳(ENP)表面處理技術來提升產品良率，目前該光罩盒廠正進行評估測試，未來獲臺積電EUV製程指定產品入場門票機會大增。

為跨入5nm EUV光罩盒業務，翔名積極接觸光罩盒大廠尋求合作契機，提供無電鍍鎳/化學鎳(ENP，Electroless Nickel Plating)表面處理專利技術，可在金屬或塑膠等固體基材表面上沉積一層均勻的鎳磷合金，使其EUV光罩盒不沾染、減少微粒工序，延長產品生命週期。

有分析稱，一旦取得EUV光罩盒表面處理業務，以臺積電光罩盒替換需求在近萬套水準，加上後續4nm及3nm陸續量產需求，翔名2021年營運表現值得期待。