荷蘭阿斯麥爾公司釋出第一代多光束檢測系統

【據荷蘭阿斯麥爾網站2020年5月28日報道】5月28日，荷蘭阿斯麥爾公司宣佈，其第一代HMI多光束檢測系統（用於5 奈米節點技術及更先進技術）的系統整合與測試工作全都完成了。HMI eScan1000成功展示了多光束操作，與此同時，其還掃描了許多測試晶片上的九道光束。與專用於線上缺陷檢查應用的單個電子束檢查工具相比，eScan1000多光束檢測系統配備了九道光束，產量提升率高達600％。

eScan1000多光束檢測系統配備了一個電子光學系統，該系統能夠生成並控制多個初級電子小束，然後收集並加工所產生的二次電子束，從而將電子束與電子束之間的串擾限制在2％以下，並提供質量一致的成像。此外，這個新的多光束檢測系統還有一個能夠提高系統整體產量的高速平臺，配備了一個高速計算架構來對源自多個子束的資料流進行實時處理。

阿斯麥爾公司產品營銷部副總裁蓋裡·張表示：“由於每項新技術的關鍵尺寸仍在縮小，那些‘致命的’缺陷也越來越小了，因此，業內無法透過使用光學檢測來發現很多缺陷。而我們的新型多光束檢測系統能夠檢測到這些較小的缺陷，同時還解決了以前的電子束在產量上存在限制的問題，使其更適合於大批次製造的情況。”

eScan1000多光束檢測系統能夠提供一定範圍的束電流，適用於物理缺陷檢查以及電壓對比檢查。這樣一來，客戶就能夠全身心地對工藝開發、大批次生產上所存在的種類各異的缺陷進行偏差監控。

此外，該系統獨有的“超新星”晶片以及資料庫缺陷檢測功能可以讓晶片製造商使用晶圓列印檢查來檢測極紫外掩模上的缺陷。它能檢測到光學檢測系統所遺漏的缺陷，花費的時間比大批次製造所需的單個電子束解決方案短。

本週，第一個多光束檢查系統已交付給客戶進行鑑定。阿斯麥爾公司打算為該系統的後續系列增加光束數量並提高光束解析度，從而能夠實現晶片製造商在產品路線圖上的要求。（國家工業資訊保安發展研究中心 朱航琪 ）