IT之家 11 月 16 日訊息 據韓國媒體 BusinessKorea 上週報道,韓國本土企業在 EUV 光刻技術方面取得了極大進展。但並沒有提到是哪一家企業,合理推測應指代韓國整個半導體光刻產業。
▲ 圖源 BusinessKorea
EUV 光刻技術是多種先進技術的複合體,例如多層反射鏡,多層掩模,防護膜,光源和登錄檔(registries)。
在過去的十年中,包括三星電子在內的全球公司進行了深入的研究和開發,以確保技術處於領先地位。最近,代工公司(意指三星)開始使用 5 奈米 EUV 光刻技術來生產智慧手機的應用處理器(AP)。
按公司劃分,全球六大公司的專利申請數佔了總數的 59%,卡爾蔡司(德國)佔 18%,三星電子(韓國)佔 15%,ASML(荷蘭)佔 11%,S&S; Tech(韓國)佔 8%。),臺積電(臺灣)為 6%,SK 海力士(韓國)為 1%。
從具體的技術專案來看,曝光裝置技術申請專利佔 31%,掩膜技術申請專利佔 28%,其他申請專利佔 9%。在工藝技術領域,三星電子佔 39%,臺積電佔 15%。在光罩領域,S&S; 科技佔 28%,Hoya(日本)佔 15%,漢陽大學 (韓國)佔 10%,朝日玻璃 (日本)佔 10%,三星電子佔 9%。
IT之家瞭解到,韓媒還提到了韓國專利數量,據韓國智慧財產權局 (KIPO)釋出的《近 10 年 (2011-2020 年)專利申請報告》顯示,2019 年,韓國提交的專利申請數量為 40 件,超過了國外企業的 10 件。
韓媒稱這是韓國提交的專利申請量首次超過國外企業。到 2020 年,韓國提交的專利申請也將是國外企業申請的兩倍以上。