作為半導體晶片製造的關鍵一環，想要製造出先進的晶片，一臺先進的光刻機是少不了的，而全球能夠生產光刻機的公司不少，但是來自荷蘭的ASML仍然是壟斷了頂尖光刻機技術領域，目前最先進的EUV光刻機也只有ASML能夠實現量產，但是即使如此，EUV光刻機再2019年的產量不過才幾十臺。
ASML的EUV光刻機產能低，很大程度上是因為EUV光刻機代表著目前最先進的光刻技術，也是全球多項頂尖技術結合的精華，本身結構複雜，有5萬多個零部件，良品率低，而且需要非常長的製造時間，據瞭解，一臺EUV光刻機的交付時間長達21個月，也就是說2020年訂購的EUV光刻機可能需要到2022年才能交貨，這個時間顯然是相當長了。
另外一方面，全球有實力使用EUV光刻機的晶片製造廠也就那麼幾家，比如臺積電、三星和英特爾，這些還算是業界的巨頭企業，一臺EUV光刻機的價格高達1.2億美元，再加上需要提前預定和超長的交付時間，所以一年區區幾十臺的產量就非常正常了。
然而，ASML光刻機可不是全憑自身實力研發出來的，英特爾、三星和臺積電都是ASML的股東，也都共同參與了EUV光刻機的研發，而這幾家企業都可以獲得ASML的光刻機優先供應權，而臺積電2019年一買就是19臺，這樣處於股東之外的企業自然就只能排隊等著了，這樣變相控制了ASML光刻機的產量。