中國最牛刻蝕機廠商:3nm在研發,5nm已被臺積電用於華為芯生產

在晶片的製造過程中,有三大關鍵工序,分別是光刻、刻蝕、沉積。這三大工序在生產的過程中,不斷的重複迴圈,最終制造成為晶片。

而在這三大關鍵工序中,要用到三種關鍵裝置,分別是光刻機、刻蝕機、鍍膜裝置。這三大裝置佔所有制造裝置投入的25%、15%、15%左右,是三種佔比最高的裝置了,可見這三種裝置是多麼的重要了。

目前在光刻機上,國內的技術是較為落後的,ASML已經實現了5nm工藝節點,而國內的水平還在90nm工藝節點上,差距至少是10年以上。

但在刻蝕機上,國內的技術卻是世界領先的,目前最牛的刻蝕機廠商已經在研發3nm的刻蝕機了,而5nm的刻蝕機已經被臺積電用於華為麒麟1020晶片的生產了。

這家廠商就是中微半導體,2004年由海外歸國的尹志堯博士創辦。在創辦這家企業時,尹志堯博士已經是60歲了。而在創辦中微半導體之前,他曾在應用材料任職13年。

而應用材料是全球第一大半導體裝置廠商,在刻蝕領域是全球最領先的廠商,而這也是尹志堯博士在應用材料負責的專案之一,所以回國創業時,也選擇了刻蝕裝置,並表示過去是為別人作嫁衣裳,現在要報效祖國。

而在創辦公司後,中微半導體先後成功開發和銷售了適用於65/45/28/20/14/10/7奈米工藝製程的一系列等離子體刻蝕裝置,一直與當時的世界先進水平同步。

去年中微就交付了5nm的刻蝕機給臺積電驗證,並於今年正式用於5nm晶片的生產,目前華為麒麟1020、蘋果A14已經在生產之中了,使用的就有中微半導體的刻蝕機了。

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