三星演示3nm工藝 奈米片構造電晶體相容FinFET設計

【手機中國新聞點】三星和臺積電都開啟了3nm製程工藝的研發,如今前者已經開始對外展示了一些3nm工藝的技術內容。三星在IEEE 國際固態電路會議上,向與會者分享了3nm GAE MBCEFET晶片的製造細節。

三星演示3nm工藝 奈米片構造電晶體相容FinFET設計

據介紹,三星GAAFET電晶體在構造上有兩種形態,是目前FinFET的升級版。一是傳統的GAAFET工藝,採用三層奈米線來構造電晶體,柵極比較薄;二是三星提出的MBCFET工藝,使用奈米片構造電晶體,完全相容FinFET設計,不需要任何新的製造工具,同時可透過GAA結構減輕短溝道效應,還透過擴充套件通道面積來提高效能。

三星演示3nm工藝 奈米片構造電晶體相容FinFET設計

三星曾在2019年介紹過GAE工藝的原理,而且當時還宣佈未來10年將會在包括代工業務在內的邏輯晶片業務上投資133兆韓元以超越臺積電,成為全球第一大晶片代工廠。另外,GAE工藝相比7LPP工藝,可實現30%的效能提升,功耗降低50%,電晶體密度提升80%。

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