集微網訊息，近日，廣東省松山湖材料實驗室陳小龍研究員帶領的SiC及相關材料團隊成功建設了一條SiC外延工藝研發產線。
圖片來源：松山湖材料實驗室
7月29日，驗收專家組對團隊的外延裝置及外延片質量進行了技術驗收。驗收專家組認為SiC及相關材料團隊所生產的SiC外延片已經滿足各項驗收指標，該團隊已經具備對外提供合格SiC外延片的能力。
松山湖材料實驗室官方訊息顯示，SiC外延裝置順利驗收和研發產線的成功建成，標誌著松山湖材料實驗室SiC及相關材料團隊正式登上了SiC外延的舞臺。
據介紹，該外延裝置的生長速度可達30-60微米/小時。對100微米外延片，其背景載流子濃度低於1×1014cm-3，表面粗糙度低於0.25 nm，膜厚均勻性偏差優於1%，載流子濃度均勻性偏差優於7%，表面缺陷密度最低可達0.05/cm2。
松山湖材料實驗室以中國科學院物理研究所為牽頭單位，東莞市政府、中國科學院高能物理研究所為共建單位。2018年4月，松山湖材料實驗室在東莞揭牌成立。
據南方日報去年報道，該實驗室已引進18個高水平團隊，均來自國內外著名高校和科研院所，所研究的專案內容涉及實用的合金材料、先進的量子材料等多個領域。分兩批次打造創新樣板工廠專案，包括新材料超快鐳射極端精細加工技術研發及產業化、第三代半導體材料和器件、仿生控冰冷凍儲存材料等一批前沿“硬科技”產業化專案。（校對/若冰）
【來源：愛集微APP】
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