作为制造芯片的核心器件，光刻机自然是重中之重，而一款性能出众的光刻机也是制造高性能芯片的必要条件，而在光刻机领域尤其是高端光刻机，目前基本上被ASML所垄断，而ASML也提供给包括英特尔、台积电以及三星等晶圆代工厂提供最新的EUV光刻机。目前随着技术的进步，越来越多的晶圆代工厂商开始研发和量产5nm工艺，如今ASML宣布将会采用全新的技术，从而让5nm晶圆的产品成倍提升。
今天ASML宣布正式发布第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，这个检测机可以适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。根据ASML的介绍，HMI eScan1000实际上是一套能够验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统，它的作用就是检测制造出来的晶圆能够符合要求和预期。
全新的多光束检测机HMI eScan1000能够同时生产和控制九道电子束，检测性能提升了600%，因此晶圆的制造能力也得到了极大的提升，此外HMI eScan1000不单单能够检测5nm工艺的产品，同时也能够为今后的更先进的工艺做准备，而现在这款产品也得到了客户的认可，目前已经在陆续测试。