本报讯（融媒体中心记者 方针）近日，2020集成电路产业链协同创新发展交流会在北京和上海两大主会场举行，会上颁发了第三届集成电路产业技术创新奖。经开区企业北京七星华创流量计有限公司（以下简称“七星流量计公司”）生产的产品喜获技术创新奖，中芯国际资深营运副总及中芯北方总经理获产业创新突出贡献奖。
为进一步鼓励集成电路领域产业技术创新、引导并加强产业链协同与产学研合作、加速创新成果产业化，中国集成电路创新联盟颁布了第三届 “IC创新奖”获奖名单。对在集成电路产业技术创新、成果产业化推进、产业链合作等方面取得突出成绩的15家单位和3位作出突出贡献的个人进行了表彰。
多年来，七星流量计公司致力于推动集成电路核心部件的国产化，旨在为集成电路设备企业提供优质的气体流量测控产品，“CS300压力不敏感气体质量流量控制器”是为集成电路行业的流量测控而生的产品，现已在大规模集成电路行业实现批量应用。CS300压力不敏感热式气体质量流量控制器采用全金属密封的结构，热式传感器测量技术及压力补偿算法，可以精准地对被控气体进行测量与控制，以满足半导体产业的需要，在半导体和集成电路工艺等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。CS300压力不敏感热式气体质量流量控制器的成功研制，填补了国内在该技术领域的空白，其各项技术指标达到国外同类产品的技术水平，形成了强有力的竞争。
七星流量计始终专注于气体流量测控的研发制造，从研发到产业化，从生产出第一台模拟式质量流量控制器到各行各业累计销售超35万台。七星流量计已经推出超过30种气体流量测控产品，为半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业客户需求提供定制化气体测控解决方案及产品维护服务，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
第三届“IC创新奖”还表彰了3名产业创新突出贡献奖个人，现任中芯国际资深营运副总及中芯北方总经理的张昕上榜。张昕毕业于清华大学无线电电子学系，并获得工程学学士和硕士学位，2010年4月正式加入中芯国际，作为中国第一个12英寸集成电路大生产基地，中芯国际北京厂及中芯北方集先进工艺及人才积累之优势，在经开区的支持下，不断引领开拓产业优质资源，形成了集成电路产业发展集群。
一家企业一名个人上榜，显示了北京经开区集成电路产业集群的综合实力。目前，经开区已完成了从半导体材料、半导体设备、IC制造、IC封测、IC设计到IC服务的全产业链布局，产业规模占到全市的1/2，率先在国内建成首条12英寸集成电路生产线，一批代表企业及研究机构承接了系列国家重大科技专项任务，在关键装备及材料、先进工艺的开发及产业化等方面取得高水平的成果，为我国集成电路产业实现自主发展奠定了坚实基础。