数字化工厂、航空发动机、巨无霸机床……面对疫情，来自全球各地的智能装备不远万里，纷纷在进博会舞台“秀肌肉”。但有一家自带光环，业内无人不知、无人不晓的全球光刻机巨头也来参会，引发不少观众疑惑：他们的产品根本不愁卖，为何还要来参会？
观众所说的，就是全球高端光刻机制造商——荷兰阿斯麦（ASML）公司。
说起ASML的名头，在芯片领域可谓大名鼎鼎，其光刻机在全球都是抢手货，有时想买还不一定买得到。光刻机之于芯片如同金工车间中的车床，在整个芯片制造流程中，几乎每个工艺的实施都离不开光刻技术，直接决定着一个国家的芯片制造水平。
在芯片制造中，光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，使光罩上的图形复印到薄片上，从而使薄片具有电子线路图的作用。这次ASML晒出的是其主力机型DUV（深紫外线）光刻机，大屏幕上滚动播放着DUV光刻机的工作原理。“目前这一设备占据全球市场80%的份额，可以生产7纳米及以上制程芯片。”ASML中国区客户经理吴亮说。有观众在现场疑惑，受美国的禁令，ASML不是已不向中国出售光刻机了吗？吴亮笑着说，那是误解，中国一直是ASML DUV（深紫外线）光刻机的最大市场，今年二、三季度中国大陆出货量占到了全球出货量的20%，达到上百台。
展台的另一侧，ASML还展示了其整体光刻解决方案，包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术，让边缘定位精度不断提高。“这些整体光刻解决方案可以为芯片生产的良率和产能提供全方位保驾护航。”吴亮说。
虽然DUV（深紫外线）光刻机已经很吸睛了，但更多人关心的是ASML的王牌产品EUV（极紫外线）光刻机。这是目前全球最顶尖的光刻机，能够制造7纳米及以下的芯片。目前华为Mate 40手机搭载的麒麟9000芯片采用的台积电5纳米光刻工艺，正是基于ASML的EUV光刻机。
媒体此前一直有报道，早在两年前，中芯国际就向ASML订购了一台EUV光刻机，但受美国禁令影响，荷兰方面一直未能放行。交谈中，展台工作人员直言，公司所有行为都要遵循当地的法律法规。记者从中也听出一份无奈，夹在其中的企业其实也很难，一不小心可能就被推到风口。
虽然受到一些因素干扰，但ASML依然热情参展进博会，无疑传递出对中国市场的态度。
ASML方面表示，这次参加进博会其实不为订单，还是希望表达公司对对外开放、携手创新的支持。自30年前进入中国市场以来，ASML已提供了全面的技术和能力来满足中国客户的需求，在全国12座城市设有办公室，在北京、深圳建立技术中心，本土工程师已经超过1000名。据统计，目前ASML在中国大陆地区大大小小装机量已超过700台。
阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波也表示，最近几年国家对于集成电路产业投入大，行业热情高，整个市场增长迅速。“对我们来说，会支持全球的集成电路产业，包括我们中国芯片产业的发展，这是非常坚定的理念。”沈波说，不管是国外的客户还是中国客户，在企业能力范围内，在法律法规主体的框架下，都会全力支持。
栏目主编：刘锟 文字编辑：刘锟
来源：作者：刘锟