中芯國際供應鏈上的設備與材料

文章轉自半導體設備與材料

二零二零年第一季資本開支7.77億元,同比、環比均大幅增長.。SMIC將2020年資本開支計劃從32億提高至約43億元,相當於2019年資本開支的2倍。本次增加的資本開支主要用於上海 300mm 晶圓廠的設備採購等。

中芯國際供應鏈上的設備與材料

根據SMIC公告,2019年至今,公司累計採購應用材料、Lam Research、TEL的工藝設備達27億美元,如果考慮光刻機、絕大部分量測設備在內,總設備採購金額估計超過35億美元,表明SMIC工藝設備採購進入高峯。

中芯國際供應鏈上的設備與材料

中芯國際推進14nm FinFET產能建設。中芯國際聯席CEO梁孟松在2019年四季度財務説明會上表示,14nm製程的產能將分三個階段逐步提升,即從19年底的3,000片/月逐步提升至今年底15,000片/月,實現14nm FinFET第一個工廠的1/2產能建設;同時,第二代FinFET製程N+1工藝芯片也進入了客户認證期,預計今年第四季度將實現小規模量產。

中芯國際供應鏈上的設備與材料

SMIC供應鏈上的國產半導體設備與材料

根據各公司公告,儘管國產設備和材料尚未大量進入中芯國際的14nm FinFET SN1工廠,但以江豐電子、中微公司等已具備7nm/5nm製程部分設備與材料供應能力,北方華創、盛美半導體具備14nm製程部分設備供應能力,安集科技、華特氣體、雅克科技、至純科技、滬硅產業、屹唐半導體、瀋陽芯源、瀋陽拓荊等均是中芯國際的設備與材料供應商。

中芯國際供應鏈上的設備與材料

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【來源:王樹一】

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