近日， 荷蘭ASML公司在官網官宣，實現了5nm及更先進工藝的第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的測試。
據瞭解，此次HMI eScan1000的完結，在性能上的提升是能夠同時產生、控制九道電子束，與單個電子束檢查工具相比，將使吞吐量提高達600%，大大減少了晶圓質量分析所耗費的時間成本。
新的MBI系統包括一個電子光學系統，能夠創建和控制多個初級電子波束，然後收集和處理產生的次級電子波束，將波束之間的串擾限制在2%以內，並提供一致的成像質量。它還具有提高系統總體吞吐量的高速階段和實時處理來自多個波束的數據流的高速計算體系結構。
據稱，目前首台首台HMI多光束檢測機HMI eScan1000檢測系統已於本週交付客户進行鑑定，ASML計劃增加光束數量和光束分辨率，以滿足未來幾代芯片製造商的產品路線圖要求。