尹志堯博士60歲毅然回國,打破西方壟斷,讓中國有了自己的刻蝕機

用一束激光去平整德國國土有多困難?用一根頭髮絲去打一口水井有多難?這就是製造芯片的難度。光刻機要求的是一束激光通過反光碗的層層聚焦,最終打到液態金屬上形成平行光,其精度要求是能將德國國土平整到正負1mm的誤差以內。

刻蝕機的要求則是類似用一根頭髮絲細的鑽頭去打出一口水井,這根細鑽頭還不能變形,不能有超過0.7納米的損耗。一年要打100萬萬億個孔,必須有99.99%以上的孔要一模一樣。這種讓人發狂的難度光是説出來就覺得根本不可能實現,但這就是芯片製造實實在在面臨的障礙。

尹志堯博士60歲毅然回國,打破西方壟斷,讓中國有了自己的刻蝕機

在中國,有一個企業克服了第二道難關,他叫中微半導體,是國家集成電路產業基金成立後投資的第一家公司,也是美國半導體保護方案中唯一防備的中國公司,更是全球唯一一家強勢在官司場上對壘三家美國科技巨頭11年不敗的中國企業,是什麼讓它擁有如此強大的力量?

創始人

上個世紀70年代,在北大讀研究生的尹志堯人生中第一次與計算機相遇。那台計算機體積巨大,約12萬根電子管填充在2棟5層高的建築裏,性能在當年的中國是絕對的第一。內存量多大呢?僅128Kb。

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大家看看自己的手機,相信不少人的手機容量可以達到128Gb。容量擴大了100萬倍,但是體積卻只有100萬分之一,是不是有種恍如隔世的感覺?但是在當年,尹志堯只是覺得心潮澎湃。

到80年,尹志堯讀完碩士,前往美國加利福尼亞大學洛杉磯分校進修,並最終拿下物理化學博士學位。加州大是全美理工科第一的名校,哈弗都無法比擬。出色的學術能力讓英特爾拋來了橄欖枝,1985年,尹志堯進入硅谷的英特爾中心研究開發部研發芯片,不過他更想做的,其實是設備。

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“調教”美日三巨頭

1986年,英特爾請尹志堯幫助LamResearch測試介質刻蝕機,經過反覆試驗,尹志堯大批Lam技術不成熟,然後反饋了很多意見回去。Lam研究團隊一看尹志堯發過來的意見,很有價值,於是把他扯到了自己的團隊來做刻蝕機。

用了5年時間,Lam成為國際最大的刻蝕機公司,全球競標能力近乎摧枯拉朽,鶴立雞羣,國際市場上40%的刻蝕機都由Lam出貨。2000年後全球最大的刻蝕機公司,應用材料在當時被Lam壓得根本喘不上氣。

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其實應用材料一直想挖尹志堯,但是苦於沒有機會。直到Lam的內部管理出現問題後,這才硬把尹大佬給請了過來。尹志堯這一呆就是13年,硬是把處處低人一頭的應用材料給扛上了全球第一刻蝕機企業的地位。

有意思的是,當尹志堯在Lam的時候,還有一家做電子產品生意的日企來跟他們合作銷售,本來他們不會技術。但是在Lam和尹志堯的協同下,教會了他們怎麼做刻蝕機,後來他們就發展成了全球第六大刻蝕機企業,這家日企叫東京電子。

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在美工作整整20年,連扛帶提的拉起了三個全球刻蝕機巨頭企業,這樣的輝煌成績放眼世界也沒幾個人了。但是尹志堯覺得不對,自己國家還沒有刻蝕機,於是從應用材料辭職,聯繫好大批人才,共同回國打造中國的刻蝕機巨頭。

回國創業,11年官司場鏖戰三巨頭

2004年,已年過六旬的尹志堯,放棄譽滿天下的高枕,帶着10多人團隊毅然回到祖國,在上海浦東創建了中微公司。

由於長期身處美國科企高管,尹志堯對美國知識產權管制的嚴格已經有了深刻的認識。

回國前給“海龜”工程師定下規矩,回國不帶USB硬盤,不帶PC電腦,不帶任何圖紙。回國後創立中微半導體,在詳細研究了所有國外3000多個專利的情況下,才開始着手規劃國產刻蝕機的研製路線。

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當中微的刻蝕機研製出來時,一台機子賣到400萬美金,摺合人民幣約2800萬。應用材料等原東家都坐不住了,協同英特爾和Lam輪番起訴中微半導體盜竊專利。那種起訴就是個臆測起訴,根本不需要證據就能立案調查。但是由於尹志堯等人早早就做好準備,三巨頭花了11年的時間打官司,也沒能找出中微半導體的破綻,最終無奈選擇和解。

在尹志堯博士的帶領下,打破西方的技術壟斷,中國成功擁有了自己的刻蝕機,而中微半導體還將為中國製造業升級提供更多的力量支持。

2019年,中微半導體的等離子刻蝕機精度已經獲得台積電的認可,進入5nm芯片生產線。同時尹志堯先生表示3nm的研製也早已提上日程,希望能夠儘快面世。2020年,中微半導體已經成為全球刻蝕機的6大龍頭企業之一。

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