1、PVD設備行業基本概況分析:定義、產業鏈
PVD(物理氣相沉積)技術即在真空條件下,採用物理方法,將材料源——固體或液體表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子,並通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。
其早在20世紀初已有些應用,但30年迅速發展,成為一門極具廣闊應用前景的新技術,目前其主要應用於半導體制造的流程之中,在注塑模具,五金模具以及機械與化工領域均有應用。
PVD設備則是PVD技術的載體,其主要由泵、濺射裝置、真空測量和檢漏系統組成。
2、產業政策:對於PVD設備較為重視
從政策環境上來看,我國對於PVD設備較為重視,其主要體現在相關政策對於發展半導體設備的支持。如《“十三五”國家科技創新規劃》中,薄膜設備(PVD設備、CVD設備等)被列為國家需要攻克的高端製造裝備;《國家高新技術產業開發區“十三五”規劃》中也提到,要推進集成電路關鍵裝備的關鍵核心技術突破與應用。
3、技術工藝:應用範圍不斷擴展
PVD最初的研製主要用於製造人造衞星需要耐磨的零部件,隨着其處理技術不斷髮展,PVD技術的應用範圍也開始不斷擴展。
目前,PVD已經演化出了較為固定的氣化、遷移和沉積的流程,且根據不同的材料與下游應用,演化出了不同的PVD技術。
4、競爭格局分析:應用材料佔據大頭
全球PVD設備市場,應用材料(AMAT)基本上實現了壟斷。SEMI數據顯示,AMAT所佔全球PVD市場份額約為85%,其次為Evatec和Ulvac,分別佔6%和5%。
5、市場規模:市場規模穩定增長
近年來,全球PVD設備市場穩步增長,2019年,全球PVD設備市場規模已超過25億美元。雖然2020年,全球經濟受到新冠疫情的衝擊,呈現出明顯的下行態勢,但PVD設備下游領域增長十分強勁,預計自2021年起,全球PVD鍍膜機的消費量將進一步呈現上升趨勢, 2025年市場規模將達到32.51億美元左右。
6、國產化分析:國產化率不斷提升
近年來,我國PVD設備製造工藝不斷進步,PVD設備國產化率不斷上升,截至2019年,我國PVD設備國產化率已達到15%左右。但從我國PVD設備製造技術的進展情況來看,部分類型的產品我國仍暫無生產能力,與海外龍頭企業之間仍存在一定的差距。
以上數據及分析請參考於前瞻產業研究院《中國半導體產業戰略規劃和企業戰略諮詢報告》,同時前瞻產業研究院提供產業大數據、產業規劃、產業申報、產業園區規劃、產業招商引資等解決方案。