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長江存儲急了,今後高端閃存顆粒需要光刻機,ASML已經宣佈斷供

由 聞人海瑤 發佈於 科技

芯片的製造少不了ASML生產的光刻機,其中目前最先進的當屬ASML旗下的EUV光刻機,比如麒麟990 5G芯片就是使用了7nm euv工藝,由台積電代工製造,未來也會有更多的PC芯片和手機芯片使用這一工藝。但是很多人可能沒有想到,如今連內存顆粒生產也都要用上EUV光刻機了。

EUV光刻機的單價不菲,一台就要上10億美元,當然,這類光刻機的前期研發和設計也是三星、台積電和Intel共同參與的,如今後者都購入了數量不等的EUV光刻機用於生產各類芯片。然而內存顆粒為了提升存儲密度,也必須及時使用最先進的半導體工藝,在三星之後,SK海力士也準備購買EUV光刻機。

SK海力士作為全球第二大內存顆粒供應商,目前已經在研發1x nm工藝的內存,內部代號“南極星”,具體節點大概在15nm,預計會引入EUV光刻機生產。而三星將從第四代10nm內存顆粒或部分高端14nm內存顆粒開始全面導入EUV光刻機生產,進度明顯比SK海力士要快。

對於內存顆粒來説,相比之前的深紫外光刻機,EUV光刻機可以減少多重曝光工藝,提升工藝精度和良品率,從而可以減少生產時間、降低成本,並提高性能。因此,儘管EUV光刻機10億美元一台的初期成本很高,維護費用也不可小覷,但是可以通過後期的內存顆粒大批量生產來攤薄成本,長遠來看也有利於內存的降價。