國內技術領先的碳化硅器件中試線“解鎖”新工藝，深入探索新能源飛機等新領域……疫情期間，落户於未來科學城的多家央企重點試驗室、研究平台等科研人員早早復工，身影忙碌在實驗室或中試線上，保證各類科研項目腳步不停。截至目前，未來科學城已有585家企業復工復產，復工率近9成；99個規模以上建設項目復工，復工率97%。
聯研院科研人員開展研發工作。聯研院供圖
春節前，落户在未來科學城“能源谷”的國家電網全球能源互聯網研究院（以下簡稱“聯研院”）接到了一個來自香港科技大學委託的訂單，希望可以利用聯研院的大功率電力電子器件中試線完成“低離子注入激活率碳化硅器件退火激活工藝”的研發。“這個工藝是一種晶圓加工的特殊工藝，不是我們平時中試線定製好的‘服務菜單’，相當於是客户根據自己的需求點了個‘新菜’。”中試線相關負責人吳昊介紹。
春節期間，新冠肺炎疫情的突發讓這一訂單面臨延後風險。在做好防疫措施的情況下，聯研院的科研人員還是早早復工投入了這一新工藝的研發當中。“一方面我們不願意耽誤需求方的進度，另一方面製造芯片的中試線也不能停太久，必須儘快運轉起來。”吳昊説。
聯研院中試線上研發新工藝。聯研院供圖
早早復工後，出於疫情防控考慮，科研人員只能分批上崗。但聯研院克服了時間緊、任務重和人手不足的困難，迅速組織精幹力量，通過多次試驗和參數調整等，完成了高温離子注入、高温退火工藝的調試和優化，按計劃高質量完成了香港科技大學委託的晶圓加工特殊工藝的研發。
目前，聯研院內的這條中試線是國內唯一一條穩定運行並對外開放的6英寸碳化硅器件中試線，可完成6英寸碳化硅晶圓的工藝研發和器件製備，吸引了大量亞太地區芯片龍頭企業、知名高校和芯片設計公司前來開展量產前的中間型試驗。自2019年3月正式啓動運行以來，這條中試線除支撐聯研院自主器件研發外，已累計為20多家研發機構和企業提供了特色工藝研發服務，有力促進了我國電力電子器件的發展。
中國商飛北研中心科研人員開展研究工作。趙語涵攝
聯研院內早早復工運轉的中試線只是未來科學城在疫情期間科研項目不停步的一個縮影。在中國商飛北研中心，針對新能源飛機、北斗導航應用、智能網聯人機共駕、智慧客艙等新領域的探索都在2月初早早復工展開。此外，作為未來科學城“能源谷”重點產業項目的未來氫谷燃料電池發動機試驗中心也於近期復工，項目完工後將成為全國規模頂級、測試技術領先、測試項目覆蓋全面的氫燃料電池測試中心。
來源 北京日報客户端 | 記者 趙語涵 通訊員 馬維迪
編輯：蔡文清
流程編輯：王夢瑩