來源：人民網-人民日報海外版
據新華社北京3月17日電(記者温競華)記者17日從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下裝備子集團已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。
離子注入機是芯片製造中的關鍵裝備。據介紹，中國電科連續突破高性能離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”技術，自主研製中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發明專利413項，實現中國芯片製造領域全譜系離子注入機自主創新發展，有效緩解我國芯片製造領域斷鏈、短鏈難題。