攻克光刻機雙工件台，“光刻機第一股”衝刺科創板

上交所官網顯示，光刻機雙工件台生產商北京華卓精科科技股份有限公司已進入受理階段，繼2015年登陸新三板後，該公司在科創板上市路程上再進一步。

招股説明書顯示，華卓精科主營業務為光刻機雙工件台、超精密測控裝備整機以及關鍵部件等衍生產品的研發、生產以及銷售和技術服務，目前屬於國家鼓勵類產業。

光刻機工件台是光刻機的核心子系統之一，被視為芯片高端裝備領域“皇冠上的明珠”。其主要功能是承載晶圓按照指定的運動軌跡做高速超精密運動並完成一系列曝光所需動作，包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光。長期以來，全球的光刻機被ASML、尼康和佳能完全壟斷，三者合計市場佔有率高達99%，高端EUV光刻機市場更是由ASML一家獨大。

招股書信息顯示，華卓精科是國內首家可自主研發並實現商業化生產的光刻機雙工件台供應商，目前已成為上海微電子的光刻機雙工件台供應商。

“作為上海微電子光刻機雙工件台的供應商，公司與上海微電 子長期保持良好的合作關係，共同進行 IC 前道光刻機核心技術的研發和 IC 前道光刻機產品的生產，為國產光刻機崛起奠定了基礎，佔據了中國商用光刻機雙工件台的主要市場份額。”招股書寫道。

財務數據顯示，2019年、2018年和2017年華卓精科營收分別為1.21億元（同比增速41%）、0.86億元（同比增速58%）和0.54億元； 2019年、2018年和2017年歸母淨利潤分別為0.21億元（同比增速38%）、0.15億元（同比增速21%）和0.13億元。

為鼓勵集成電路行業的發展，我國中央財政給予大力支持。華卓精科在招股書中提供的數據顯示，報告期內，公司收到的政府補助分別為6,936.83 萬元、13,931.25 萬元和 32,136.67 萬元。

圖片來源：上交所官網截圖

來源：北京日報客户端|記者 孫奇茹

編輯：孫奇茹

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